[实用新型]一种集成电路芯片制造用便于维护控制器的光刻机有效
| 申请号： | 202123129569.2 | 申请日： | 2021-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN216387741U | 公开（公告）日： | 2022-04-26 |
| 发明（设计）人： | 王耀辉;李学峰;张强 | 申请（专利权）人： | 重庆宇隆电子技术研究院有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 重庆飞思明珠专利代理事务所(普通合伙) 50228 | 代理人： | 苏娟 |
| 地址： | 400700 重庆市北碚区*** | 国省代码： | 重庆;50 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 集成电路 芯片 制造 便于 维护 控制器 光刻 | ||
1.一种集成电路芯片制造用便于维护控制器的光刻机，其特征在于，包括：
机体(1)，所述机体(1)内部开设有缺口(2)，所述缺口(2)内部安装有工件台(3)，所述机体(1)内部开设有安装槽(4)，所述安装槽(4)内部嵌合有控制器(5)，所述机体(1)一侧设置有散热网板(19)；
滑槽(6)，开设在所述安装槽(4)顶部，所述滑槽(6)内部滑动连接有齿条板(7)，所述滑槽(6)一侧开设有操作槽(8)，所述操作槽(8)内部安装有电机(9)，靠近齿条板(7)的所述电机(9)一侧安装有齿轮(10)，所述齿条板(7)底部固定连接有固定块(24)，所述固定块(24)固定连接在控制器(5)一侧，所述控制器(5)底部固定连接有导向块(11)，所述导向块(11)滑动连接在导向槽(12)内部，所述导向槽(12)开设在安装槽(4)底部。
2.根据权利要求1所述的一种集成电路芯片制造用便于维护控制器的光刻机，其特征在于：所述齿条板(7)与齿轮(10)之间构成啮合结构，且齿轮(10)与电机(9)之间构成旋转结构。
3.根据权利要求1所述的一种集成电路芯片制造用便于维护控制器的光刻机，其特征在于：所述缺口(2)包括有：
移动槽(13)，开设在所述缺口(2)两侧，所述移动槽(13)内部安装有马达(14)，所述马达(14)与移动槽(13)之间通过轴承连接有丝杆(15)，所述丝杆(15)上螺纹连接有滑块(16)，所述滑块(16)之间固定连接有防尘板(17)，所述防尘板(17)一侧嵌合在收纳槽(18)内部，所述收纳槽(18)开设在缺口(2)顶部。
4.根据权利要求3所述的一种集成电路芯片制造用便于维护控制器的光刻机，其特征在于：所述移动槽(13)、马达(14)、丝杆(15)、滑块(16)关于缺口(2)的中心线对称分布有两组，且缺口(2)、收纳槽(18)与防尘板(17)之间构成滑动连接。
5.根据权利要求1所述的一种集成电路芯片制造用便于维护控制器的光刻机，其特征在于：所述散热网板(19)包括有：
固定杆(20)，固定连接在所述散热网板(19)一侧，靠近固定杆(20)的所述机体(1)一侧固定连接有螺纹杆(21)，所述螺纹杆(21)与固定杆(20)之间套接有挤压板(22)，靠近挤压板(22)的所述螺纹杆(21)上螺纹连接有螺母(23)。
6.根据权利要求5所述的一种集成电路芯片制造用便于维护控制器的光刻机，其特征在于：所述螺纹杆(21)、固定杆(20)与挤压板(22)之间构成滑动连接，且螺纹杆(21)与固定杆(20)处于同一水平直线上。
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