[实用新型]一种集成电路芯片制造用便于维护控制器的光刻机

说明书

本实用新型公开了一种集成电路芯片制造用便于维护控制器的光刻机，包括：机体，作用于将掩膜版上的精细图形通过光线的曝光印制到芯片上，所述机体内部开设有缺口，所述缺口内部安装有工件台，所述机体内部开设有安装槽，所述安装槽内部嵌合有控制器。该集成电路芯片制造用便于维护控制器的光刻机，首先，采用齿条板，齿条板滑动时会通过推动固定块而带动控制器向安装槽外滑动，以便于对控制器进行维护，接着，采用防尘板，当防尘板滑动到适应位置时会对缺口处进行遮盖，从而可以对缺口进行密封防尘，最后，采用挤压板，当挤压板会沿螺纹杆与固定杆滑出后，此时再拉动散热网板会与机体进行分离，便于拆卸散热网板进行更换。

技术领域

本实用新型涉及集成电路芯片制造技术领域，具体为一种集成电路芯片制造用便于维护控制器的光刻机。

背景技术

光刻机又名：掩模对准曝光机，曝光系统，光刻系统等，是制造芯片的核心装备。它采用类似照片冲印的技术，现有的光刻机在使用时还存在一定缺陷，就比如；

如公开号CN209149068U一种光刻机框架及光刻机，光刻机框架包括测量支架、主基板、Y向干涉仪支架及连接臂，测量支架的下底面形成有一延伸部，延伸部上沿Y向相对的两个侧壁分别为第一侧壁和第二侧壁，测量支架的下底面上沿Y向位于延伸部的两侧的底面分别为第一下底面和第二下底面，主基板上开设有一凹槽，延伸部位于凹槽内，并且测量支架通过第一下底面和第二下底面与主基板连接，Y向干涉仪支架固定连接于测量支架一端，连接臂设置于主基板内，连接臂一端固定连接于Y向干涉仪支架，另一端固定连接于第一侧壁。测量支架和主基板T形嵌设连接，提高了干涉测量系统的测量精度，减少了震动的传递对曝光成像系统的影响，有效提高了光刻机整机系统的稳定性；

这种现有技术方案在使用时还存在以下问题：

1.不便于维护控制器；

2.不便于对缺口处进行防尘；

3.不便于更换散热网板；

所以需要针对上述问题进行改进。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种集成电路芯片制造用便于维护控制器的光刻机，以解决上述背景技术提出的目前市场上的不便于维护控制器，不便于对缺口处进行防尘，不便于更换散热网板的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种集成电路芯片制造用便于维护控制器的光刻机，包括：

机体，作用于将掩膜版上的精细图形通过光线的曝光印制到芯片上，所述机体内部开设有缺口，所述缺口内部安装有工件台，所述机体内部开设有安装槽，所述安装槽内部嵌合有控制器，所述机体一侧设置有散热网板；

滑槽，开设在所述安装槽顶部，所述滑槽内部滑动连接有齿条板，所述滑槽一侧开设有操作槽，所述操作槽内部安装有电机，靠近齿条板的所述电机一侧安装有齿轮，所述齿条板底部固定连接有固定块，所述固定块固定连接在控制器一侧，所述控制器底部固定连接有导向块，所述导向块滑动连接在导向槽内部，所述导向槽开设在安装槽底部。

优选的，所述齿条板与齿轮之间构成啮合结构，且齿轮与电机之间构成旋转结构，启动电机驱动齿轮进行转动，齿轮转动时会与齿条板进行啮合。

优选的，所述缺口包括有：

移动槽，开设在所述缺口两侧，所述移动槽内部安装有马达，启动马达驱动丝杆进行在移动槽内进行转动，丝杆转动时会拉动滑块沿其进行螺纹滑动，所述马达与移动槽之间通过轴承连接有丝杆，所述丝杆上螺纹连接有滑块，所述滑块之间固定连接有防尘板，所述防尘板一侧嵌合在收纳槽内部，所述收纳槽开设在缺口顶部。

优选的，所述移动槽、马达、丝杆、滑块关于缺口的中心线对称分布有两组，且缺口、收纳槽与防尘板之间构成滑动连接，当防尘板滑动到适应位置时会对缺口处进行遮盖，从而可以对缺口进行密封防尘。