[实用新型]一种真空用多层晶圆储存盒加工专用固定承载台有效

专利信息
申请号: 202123121867.7 申请日: 2021-12-14
公开(公告)号: CN216354102U 公开(公告)日: 2022-04-19
发明(设计)人: 刘建蔚 申请(专利权)人: 昆山兴宇宏机械科技有限公司
主分类号: H01L21/673 分类号: H01L21/673
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 215300 江苏省苏州市昆山市玉山镇*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型公开了一种真空用多层晶圆储存盒加工专用固定承载台,包括承载台体、存储盒体和固定机构,所述存储盒体放置在承载台体顶部,两个所述固定机构安装在承载台体表面且分别位于存储盒体两侧,所述固定机构包括固定板、转动杆、立板、调节组件和T型螺杆,所述固定板通螺钉固定在承载台体前表面,所述转动杆竖直安装在固定板上,所述立板上端通过调节组件安装在转动杆上端;本实用新型通过设置有固定机构,既不影响存储盒体放置和加工,又可对放置在承载台体顶部的存储盒体进行夹紧固定,避免存储盒体因受力加工出现偏移而影响加工精度的情况,且两个固定机构之间的夹紧距离可根据存储盒体形状尺寸进行调节。
搜索关键词: 一种 真空 多层 储存 加工 专用 固定 承载
【主权项】:
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