[实用新型]一种真空用多层晶圆储存盒加工专用固定承载台

权利要求书

1.一种真空用多层晶圆储存盒加工专用固定承载台，包括承载台体（1）、存储盒体（2）和固定机构（3），所述存储盒体（2）放置在承载台体（1）顶部，其特征在于：两个所述固定机构（3）安装在承载台体（1）表面且分别位于存储盒体（2）两侧，所述固定机构（3）包括固定板（31）、转动杆（32）、立板（33）、调节组件（34）和T型螺杆（35），所述固定板（31）通螺钉固定在承载台体（1）前表面，所述转动杆（32）竖直安装在固定板（31）上，所述立板（33）上端通过调节组件（34）安装在转动杆（32）上端，所述立板（33）下端表面垂直且旋合安装有T型螺杆（35）。

2.根据权利要求1所述的一种真空用多层晶圆储存盒加工专用固定承载台，其特征在于：所述调节组件（34）包括卡板（341）、固定轴（342）和限位螺栓（343），U型的所述卡板（341）固定在转动杆（32）端部，所述卡板（341）内部固定有固定轴（342），所述立板（33）端部转动套设在固定轴（342）上。

3.根据权利要求2所述的一种真空用多层晶圆储存盒加工专用固定承载台，其特征在于：所述卡板（341）侧面开设有多个穿孔，所述限位螺栓（343）穿过穿孔与立板（33）螺纹连接。

4.根据权利要求1所述的一种真空用多层晶圆储存盒加工专用固定承载台，其特征在于：所述立板（33）包括外侧板（331）、内侧板（332）、限位环（333）和固定柱（334），所述外侧板（331）端部转动安装在调节组件（34）内，所述内侧板（332）位于外侧板（331）外侧，且二者通过限位环（333）和固定柱（334）活动连接。

5.根据权利要求4所述的一种真空用多层晶圆储存盒加工专用固定承载台，其特征在于：所述固定柱（334）固定在外侧板（331）端部表面，且所述固定柱（334）端部穿过内侧板（332）表面开设的矩形孔露在外侧，所述限位环（333）旋合套设在固定柱（334）端部且与内侧板（332）表面接触限位。

6.根据权利要求1所述的一种真空用多层晶圆储存盒加工专用固定承载台，其特征在于：所述转动杆（32）包括固定外管（321）、活动内杆（322）和限位螺钉（323），所述固定外管（321）竖直固定在固定板（31）表面，所述活动内杆（322）活动位于固定外管（321）中。

7.根据权利要求6所述的一种真空用多层晶圆储存盒加工专用固定承载台，其特征在于：所述限位螺钉（323）垂直且旋合安装在固定外管（321）上，且所述限位螺钉（323）内端与活动内杆（322）表面接触限位。