[实用新型]一种晶圆打磨除尘设备有效
| 申请号： | 202123111379.8 | 申请日： | 2021-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN216633717U | 公开（公告）日： | 2022-05-31 |
| 发明（设计）人： | 胡建军 | 申请（专利权）人： | 苏州英尔捷半导体有限公司 |
| 主分类号： | B24B7/22 | 分类号： | B24B7/22;B24B55/06;B24B41/06;B24B41/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215101 江苏省苏州市工业*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种晶圆打磨除尘设备，包括打磨箱与集尘箱，所述打磨箱内腔固定安装有伺服电缸，所述伺服电缸输出端固定连接有连接板，所述连接板下端固定安装有伺服电机，所述伺服电机输出端通过联轴器连接有打磨盘，所述打磨箱内腔下端固定安装有支撑腿，所述支撑腿上端固定安装有支撑板，所述打磨箱内腔固定杆安装有第一风机，所述第一连接管另一端固定连接有吸盘，所述第一风机另一端固定连接有第二连接管，所述打磨箱一侧设有第二风机，所述第二风机一端固定连接有第三连接管，所述第二风机另一端固定连接有第四连接管，本实用新型便于将晶圆进行固定，且可以将打磨的废屑进行集中处理。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 打磨 除尘 设备 | ||
【主权项】：
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