[实用新型]一种晶圆打磨除尘设备

权利要求书

1.一种晶圆打磨除尘设备，包括打磨箱(1)与集尘箱(2)，其特征在于：所述打磨箱(1)内腔固定安装有伺服电缸(3)，所述伺服电缸(3)输出端固定连接有连接板(4)，所述连接板(4)下端固定安装有伺服电机(5)，所述伺服电机(5)输出端通过联轴器连接有打磨盘(6)，所述打磨箱(1)内腔下端固定安装有支撑腿(7)，所述支撑腿(7)上端固定安装有支撑板(8)，所述打磨箱(1)内腔固定杆安装有第一风机(9)，所述第一风机(9)一端固定连接有第一连接管(10)，所述第一连接管(10)另一端贯穿所述支撑板(8)，所述第一连接管(10)另一端固定连接有吸盘(11)，所述第一连接管(10)上固定安装有电磁阀(12)，所述第一风机(9)另一端固定连接有第二连接管(13)，所述第二连接管(13)贯穿所述打磨箱(1)，所述打磨箱(1)一侧设有第二风机(14)，所述第二风机(14)一端固定连接有第三连接管(15)，所述第三连接管(15)另一端贯穿所述打磨箱(1)，所述第二风机(14)另一端固定连接有第四连接管(16)，所述第四连接管(16)贯穿所述集尘箱(2)。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆打磨除尘设备，其特征在于：所述打磨箱(1)一侧开设有第一通风孔(17)，所述第一通风孔(17)处固定设有第一过滤网(18)。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆打磨除尘设备，其特征在于：所述伺服电机(5)输出端通过联轴器连接有连接杆(19)，所述连接杆(19)另一端固定设有第一连接盘(20)，所述打磨盘(6)上固定设有第二连接盘(21)，所述第一连接盘(20)与所述第二连接盘(21)通过若干锁紧螺栓(22)连接。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆打磨除尘设备，其特征在于：所述第三连接管(15)另一端设有吸尘罩(23)。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆打磨除尘设备，其特征在于：所述打磨箱(1)与所述集尘箱(2)之间设有安装板(24)，所述第二风机(14)固定安装在所述安装板(24)上。

6.根据权利要求1所述的一种晶圆打磨除尘设备，其特征在于：所述集尘箱(2)一侧开设有第二通风孔(25)，所述第二通风孔(25)处固定安装有第二过滤网(26)。

7.根据权利要求1所述的一种晶圆打磨除尘设备，其特征在于：所述打磨箱(1)与所述集尘箱(2)上均安装有箱门(27)，所述箱门(27)上均固定安装有把手(28)。