[实用新型]一种激光晶圆切割用晶圆储存盒加工专用抛光设备有效

专利信息
申请号: 202123073025.9 申请日: 2021-12-09
公开(公告)号: CN216327490U 公开(公告)日: 2022-04-19
发明(设计)人: 刘建蔚 申请(专利权)人: 昆山兴宇宏机械科技有限公司
主分类号: B24B29/02 分类号: B24B29/02;B24B41/06;B24B45/00;B24B47/22
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 215300 江苏省苏州市昆山市玉山镇*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型公开了一种激光晶圆切割用晶圆储存盒加工专用抛光设备,包括底板,所述底板的表面设置有安装板和稳固杆,所述安装板的顶端上设置有驱动电机,所述驱动电机上设置有安装块,所述安装块上设置有抛光盘,所述安装块的外表面上设置有紧固螺丝,所述稳固杆的侧面设置有连接框,所述连接框的内部设置有转动环,所述连接框上设置有升降螺杆,所述升降螺杆的顶端设置有支撑板,所述支撑板的侧面设置有调节螺杆,所述调节螺杆的外侧设置有滑动块,所述滑动块上设置有限位板;晶圆存储盒放置在支撑板上,可调节限位板的位置,便于对于不同厚度的晶圆存储盒进行抛光,可调节支撑板的高低位置,可对晶圆存储盒上不同位置进行抛光。
搜索关键词: 一种 激光 切割 用晶圆 储存 加工 专用 抛光 设备
【主权项】:
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