[实用新型]一种激光晶圆切割用晶圆储存盒加工专用抛光设备

权利要求书

1.一种激光晶圆切割用晶圆储存盒加工专用抛光设备，包括底板（1），其特征在于：所述底板（1）的表面设置有安装板（2）和稳固杆（7），所述安装板（2）的顶端上设置有驱动电机（3），所述驱动电机（3）上设置有安装块（4），所述安装块（4）上设置有抛光盘（5），所述安装块（4）的外表面上设置有紧固螺丝（6），所述稳固杆（7）的侧面设置有连接框（8），所述连接框（8）的内部设置有转动环（9），所述连接框（8）上设置有升降螺杆（10），所述升降螺杆（10）的顶端设置有支撑板（11），所述支撑板（11）的侧面设置有调节螺杆（12），所述调节螺杆（12）的外侧设置有滑动块（14），所述滑动块（14）上设置有限位板（13）。

2.根据权利要求1所述的一种激光晶圆切割用晶圆储存盒加工专用抛光设备，其特征在于：所述抛光盘（5）的中心位置设置有圆柱形状的凸起，所述安装块（4）面向抛光盘（5）的表面设置有凹槽，所述抛光盘（5）上的凸起与凹槽配合，所述紧固螺丝（6）与所述凸起之间通过螺纹旋合连接。

3.根据权利要求1所述的一种激光晶圆切割用晶圆储存盒加工专用抛光设备，其特征在于：所述升降螺杆（10）贯穿连接框（8）和转动环（9），所述转动环（9）与升降螺杆（10）之间通过螺纹旋合连接，所述升降螺杆（10）与“L”型结构的支撑板（11）转动连接。

4.根据权利要求1所述的一种激光晶圆切割用晶圆储存盒加工专用抛光设备，其特征在于：所述调节螺杆（12）贯穿滑动块（14），所述调节螺杆（12）与支撑板（11）转动连接，所述调节螺杆（12）与滑动块（14）之间通过螺纹旋合连接。

5.根据权利要求1所述的一种激光晶圆切割用晶圆储存盒加工专用抛光设备，其特征在于：所述支撑板（11）包括竖直板和水平板，所述抛光盘（5）侧面的竖直切面与支撑板（11）竖直板的内表面处于同一竖直面。

6.根据权利要求1所述的一种激光晶圆切割用晶圆储存盒加工专用抛光设备，其特征在于：所述支撑板（11）底部设置有定位杆，所述定位杆的底端嵌入稳固杆（7）顶端表面内部，所述底板（1）表面的边侧上设置有“L”型结构的遮挡盖。