[实用新型]一种半导体制程超声波清洗机有效
| 申请号： | 202123014104.2 | 申请日： | 2021-12-03 |
| 公开（公告）号： | CN216441264U | 公开（公告）日： | 2022-05-06 |
| 发明（设计）人： | 唐伟东;张阳芳;周晓娟 | 申请（专利权）人： | 苏州杉树园半导体设备有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/12 | 分类号： | B08B3/12;B08B3/10 |
| 代理公司： | 杭州知杭知识产权代理事务所(普通合伙) 33310 | 代理人： | 夏艳 |
| 地址： | 215010 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种半导体制程超声波清洗机，涉及清洗设备技术领域，包括：箱体、万向轮、控制器、扶杆、安装座、电动推杆；箱体底部四角均固定连接有万向轮；箱体正面一侧均固定连接有控制器；箱体左右两侧顶部均固定连接有扶杆；左右两侧底部均固定连接有安装座；有益效果在于：通过清洗杆可将需要进行清洗的石英绝缘环套在清洗杆上，然后将防脱盖镶嵌在清洗杆顶部，防止清洗时，石英绝缘环漂浮起来从清洗杆顶部跑出；通过螺栓与螺纹孔为螺纹连接，使清洗杆便于从清洗架内部拆卸下来，从而使清洗杆便于拆装；同时使石英绝缘环便于拿取；从而通过设置清洗杆便于对石英绝缘环进行安装清洗，使石英绝缘环可有序的套在清洗杆上。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体 超声波 清洗 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于苏州杉树园半导体设备有限公司，未经苏州杉树园半导体设备有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202123014104.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：双模式开关频率控制电路
- 下一篇：一种带防坠式绝缘起吊挂点
