[实用新型]一种半导体制程超声波清洗机

权利要求书

1.一种半导体制程超声波清洗机，包括：箱体(1)、万向轮(2)、控制器(3)、扶杆(4)、安装座(5)、电动推杆(6)；其特征在于：所述箱体(1)底部四角均固定连接有万向轮(2)；所述箱体(1)正面一侧均固定连接有控制器(3)；所述箱体(1)左右两侧顶部均固定连接有扶杆(4)；所述左右两侧底部均固定连接有安装座(5)；两个所述安装座(5)顶部均固定安装连接有电动推杆(6)；

所述箱体(1)包括：工作腔(101)、清洗腔(102)、超声波振子(103)、超声波发生器(104)、清洗架(105)、安装耳(106)、固定板(107)、螺纹孔(108)、清洗杆(109)、螺栓(110)、防脱盖(111)、电加热管(112)、排水口(113)；所述箱体(1)内部均固定连接有工作腔(101)和清洗腔(102)，且所述工作腔(101)在清洗腔(102)顶部；所述工作腔(101)内部顶部固定连接有若干个超声波振子(103)；所述清洗腔(102)内部底部一侧固定连接有超声波发生器(104)；所述清洗腔(102)内部活动连接有清洗架(105)；所述清洗架(105)顶部左右两侧均固定连接有安装耳(106)；两个所述安装耳(106)底部均与电动推杆(6)顶部固定连接；所述清洗架(105)底部固定连接有若干个固定板(107)；所述固定板(107)顶部内部均固定连接有螺纹孔(108)；所述固定板(107)顶部一侧均活动连接有清洗杆(109)；所述清洗杆(109)底部均固定连接有螺栓(110)，且所述螺栓(110)活动连接在螺纹孔(108)内部；所述清洗杆(109)顶部活动连接有防脱盖(111)；所述清洗腔(102)左右两侧内部内壁均固定连接有若干个电加热管(112)；所述箱体(1)右侧外壁一侧固定连接有排水口(113)，且所述排水口(113)与清洗腔(102)内部贯穿。

2.根据权利要求1所述的一种半导体制程超声波清洗机，其特征在于：所述螺栓(110)与螺纹孔(108)为螺纹连接，且所述防脱盖(111)底部与清洗杆(109)顶部为镶嵌结构。

3.根据权利要求1所述的一种半导体制程超声波清洗机，其特征在于：所述清洗杆(109)为网状镂空结构设置。

4.根据权利要求1所述的一种半导体制程超声波清洗机，其特征在于：所述清洗杆(109)从左到右依次由细到粗。

5.根据权利要求1所述的一种半导体制程超声波清洗机，其特征在于：两个所述电动推杆呈左右对称设置，且所述清洗架(105)为网状镂空结构设置。

6.根据权利要求1所述的一种半导体制程超声波清洗机，其特征在于：所述电加热管(112)左右内壁各设有两个，且呈对称设置。

7.根据权利要求1所述的一种半导体制程超声波清洗机，其特征在于：两个所述扶杆(4)呈左右对称设置。

8.根据权利要求1所述的一种半导体制程超声波清洗机，其特征在于：所述控制器(3)与电动推杆(6)、电加热管(112)、超声波振子(103)、超声波发生器(104)均为电性连接。