[实用新型]气体分配盘拆装工具有效

专利信息
申请号: 202123001153.2 申请日: 2021-11-30
公开(公告)号: CN216634232U 公开(公告)日: 2022-05-31
发明(设计)人: 马晓 申请(专利权)人: 广州粤芯半导体技术有限公司
主分类号: B25B27/14 分类号: B25B27/14
代理公司: 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 代理人: 沈宗晶
地址: 510000 广*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 实用新型的气体分配盘拆装工具包括:本体,其内部设有一空腔,且本体的外壁形成有与空腔连通的多个开窗;按压轴,其沿轴向可移动地穿设在本体中,且伸入空腔中;卡爪结构,其包括多个卡爪组件,且按压轴能够伸入卡爪结构中,卡爪组件的一端固定于空腔内,另一端位于对应的开窗沿本体的径向范围内。如上,可以使按压轴驱动卡爪结构在收缩形态和展开形态之间转换,通过将至少两个本体通过气体分配盘上的孔穿设入上腔体中,卡爪结构处于展开形态可将气体分配盘夹紧固定在上腔体上,随后开始螺丝的安装或拆除,卡爪结构处于收缩形态可将气体分配盘顺着本体的轴向远离或者靠近上腔体,从而进行气体分配盘最后的拆除工作或者开始的安装工作。
搜索关键词: 气体 分配 拆装 工具
【主权项】:
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