[实用新型]气体分配盘拆装工具有效

专利信息
申请号: 202123001153.2 申请日: 2021-11-30
公开(公告)号: CN216634232U 公开(公告)日: 2022-05-31
发明(设计)人: 马晓 申请(专利权)人: 广州粤芯半导体技术有限公司
主分类号: B25B27/14 分类号: B25B27/14
代理公司: 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 代理人: 沈宗晶
地址: 510000 广*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 气体 分配 拆装 工具
【权利要求书】:

1.一种气体分配盘拆装工具,其特征在于,包括:

呈柱状的本体,所述本体的内部设有一空腔,且所述本体的外壁形成有沿所述本体的周向排布的多个开窗,所述开窗与所述空腔连通;

沿所述本体的轴向延伸的按压轴,所述按压轴自所述本体的一端沿轴向可移动地穿设在所述本体中,且所述按压轴伸入所述空腔中;

卡爪结构,其包括围绕所述按压轴周向排布的多个卡爪组件,且所述按压轴能够伸入所述卡爪结构中,所述卡爪组件沿所述本体的轴向延伸,所述卡爪组件的一端固定于所述空腔内,所述卡爪组件与所述开窗一一对应,所述卡爪组件的另一端位于对应的所述开窗沿所述本体的径向范围内。

2.根据权利要求1所述的气体分配盘拆装工具,其特征在于,所述卡爪结构包括偶数个所述卡爪组件,且两个所述卡爪组件为一组并关于所述按压轴的中心对称分布。

3.根据权利要求1所述的气体分配盘拆装工具,其特征在于,所述卡爪组件包括夹紧爪和膨胀爪,所述膨胀爪和所述夹紧爪沿所述本体的径向向外依次排布。

4.根据权利要求3所述的气体分配盘拆装工具,其特征在于,所述夹紧爪靠近所述开窗的一端形成一延伸部,所述延伸部沿所述本体的径向向外延伸。

5.根据权利要求1所述的气体分配盘拆装工具,其特征在于,所述按压轴伸入所述空腔的一端呈圆锥形。

6.根据权利要求1所述的气体分配盘拆装工具,其特征在于,所述气体分配盘拆装工具还包括弹性结构,所述弹性结构的一端与所述按压轴连接,所述弹性结构的另一端与所述卡爪结构连接。

7.根据权利要求6所述的气体分配盘拆装工具,其特征在于,所述气体分配盘拆装工具还包括限位结构,所述限位结构固定于所述本体上,且与所述按压轴连接,所述限位结构用于限制所述按压轴的移动自由度。

8.根据权利要求7所述的气体分配盘拆装工具,其特征在于,所述限位结构包括可活动套设于所述按压轴上的壳体,所述壳体固定于所述本体中;所述按压轴具有沿自身的径向向外凸起的至少一处凸出部,所述壳体具有至少一处卡槽部,所述卡槽部沿所述按压轴远离所述空腔的方向凹陷成形于所述壳体的一端。

9.根据权利要求1所述的气体分配盘拆装工具,其特征在于,所述气体分配盘拆装工具还包括包覆于所述卡爪结构上的保护层。

10.根据权利要求1所述的气体分配盘拆装工具,其特征在于,所述本体远离所述按压轴的一端设有外螺纹段。

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