[实用新型]气体分配盘拆装工具

说明书

本实用新型的气体分配盘拆装工具包括：本体，其内部设有一空腔，且本体的外壁形成有与空腔连通的多个开窗；按压轴，其沿轴向可移动地穿设在本体中，且伸入空腔中；卡爪结构，其包括多个卡爪组件，且按压轴能够伸入卡爪结构中，卡爪组件的一端固定于空腔内，另一端位于对应的开窗沿本体的径向范围内。如上，可以使按压轴驱动卡爪结构在收缩形态和展开形态之间转换，通过将至少两个本体通过气体分配盘上的孔穿设入上腔体中，卡爪结构处于展开形态可将气体分配盘夹紧固定在上腔体上，随后开始螺丝的安装或拆除，卡爪结构处于收缩形态可将气体分配盘顺着本体的轴向远离或者靠近上腔体，从而进行气体分配盘最后的拆除工作或者开始的安装工作。

技术领域

本实用新型涉及半导体技术领域，特别涉及一种气体分配盘拆装工具。

背景技术

请参阅图1和图2，图1和图2现有技术中的气体分配盘拆卸或安装的示意图，通常地，通过沿气体分配盘的周向均匀设置的十二颗螺丝将气体分配盘固定在上腔体上。

在拆卸气体分配盘时，通常需要两位操作人员配合工作，先将气体分配盘随上腔体的转动而从下腔体中脱离出来，随后一位操作人员逐一拆除十颗螺丝，拆到最后两颗螺丝(剩余的两颗螺丝关于气体分配盘的中心对称分布)的时候需要另外一位操作人员帮忙将气体分配盘扶住，然后再拆除剩余的两颗螺丝，相当于一人扶住气体分配盘，另一人拆掉剩余的两个螺丝，否则气体分配盘会随着螺丝的松动直接掉落从而损伤其他部件。

在安装气体分配盘时，通常也需要两位操作人员配合工作，一位操作人员将气体分配盘扶着并与上腔体的位置对准，另一位操作人员逐一将螺丝拧入，从而将气体分配盘固定在上腔体上，最后气体分配盘随着上腔体的转动而进入下腔体中。上述安装工作若仅一人完成的话很容易出现气体分配盘掉落而砸伤其他部件，并且一个人很难完成此安装工作。

基于此可知，目前的半导体设备的气体分配盘的拆卸和安装比较复杂，需要双人配合工作方可完成，比较费时费力。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种气体分配盘拆装工具，以解决现有用于拆装气体分配盘的方式比较复杂且费时费力的问题。

为解决上述技术问题，本实用新型提供一种气体分配盘拆装工具，其包括：

呈柱状的本体，所述本体的内部设有一空腔，且所述本体的外壁形成有沿所述本体的周向排布的多个开窗，所述开窗与所述空腔连通；

沿所述本体的轴向延伸的按压轴，所述按压轴自所述本体的一端沿轴向可移动地穿设在所述本体中，且所述按压轴伸入所述空腔中；

卡爪结构，其包括围绕所述按压轴周向排布的多个卡爪组件，且所述按压轴能够伸入所述卡爪结构中，所述卡爪组件沿所述本体的轴向延伸，所述卡爪组件的一端固定于所述空腔内，所述卡爪组件与所述开窗一一对应，所述卡爪组件的另一端位于对应的所述开窗沿所述本体的径向范围内。

可选的，所述卡爪结构包括偶数个所述卡爪组件，且两个所述卡爪组件为一组并关于所述按压轴的中心对称分布。

可选的，所述卡爪组件包括夹紧爪和膨胀爪，所述膨胀爪和所述夹紧爪沿所述本体的径向向外依次排布。

可选的，所述夹紧爪靠近所述开窗的一端形成一延伸部，所述延伸部沿所述本体的径向向外延伸。

可选的，所述按压轴伸入所述空腔的一端呈圆锥形。

可选的，所述气体分配盘拆装工具还包括弹性结构，所述弹性结构的一端与所述按压轴连接，所述弹性结构的另一端与所述卡爪结构连接。

可选的，所述气体分配盘拆装工具还包括限位结构，所述限位结构固定于所述本体上，且与所述按压轴连接，所述限位结构用于限制所述按压轴的移动自由度。