[实用新型]一种溅射靶材加工装置有效
| 申请号： | 202122990546.4 | 申请日： | 2021-12-01 |
| 公开（公告）号： | CN216229031U | 公开（公告）日： | 2022-04-08 |
| 发明（设计）人： | 孔伟华 | 申请（专利权）人： | 江苏东玖光电科技有限公司 |
| 主分类号： | B25B11/00 | 分类号： | B25B11/00 |
| 代理公司： | 南京佰腾智信知识产权代理事务所(普通合伙) 32509 | 代理人： | 黄杭飞 |
| 地址： | 221200 江苏省徐州市睢宁县*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种溅射靶材加工装置，包括底板，所述底板上端面左侧中部固定连接有第一固定板，所述第一固定板右端面上侧固定连接有第一电机，所述第一电机输出端固定连接有第一转轴，所述第一转轴右端面固定连接有第一弧形板，所述第一弧形板内侧设有第一弧形槽，所述第一弧形槽内侧滑动连接有连接柱，所述连接柱下端面固定连接有滑块。本实用新型涉及靶材加工领域，该溅射靶材加工装解决了现有的溅射靶材加工装置不便对不同直径大小的溅射靶材进行固定、不便对溅射靶材起到一个角度调节作用的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 溅射 加工 装置 | ||
【主权项】：
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