[实用新型]一种溅射靶材加工装置

说明书

本实用新型公开了一种溅射靶材加工装置，包括底板，所述底板上端面左侧中部固定连接有第一固定板，所述第一固定板右端面上侧固定连接有第一电机，所述第一电机输出端固定连接有第一转轴，所述第一转轴右端面固定连接有第一弧形板，所述第一弧形板内侧设有第一弧形槽，所述第一弧形槽内侧滑动连接有连接柱，所述连接柱下端面固定连接有滑块。本实用新型涉及靶材加工领域，该溅射靶材加工装解决了现有的溅射靶材加工装置不便对不同直径大小的溅射靶材进行固定、不便对溅射靶材起到一个角度调节作用的问题。

技术领域

本实用新型涉及靶材加工领域，具体为一种溅射靶材加工装置。

背景技术

溅射靶材的要求较传统材料行业高，一般要求如，尺寸、平整度、纯度、各项杂质含量、密度、N/O/C/S、晶粒尺寸与缺陷控制；较高要求或特殊要求包含：表面粗糙度、电阻值、晶粒尺寸均匀性、成份与组织均匀性、异物(氧化物)含量与尺寸、导磁率、超高密度与超细晶粒等等。

现有的溅射靶材加工装置不便对不同直径大小的溅射靶材进行固定，并且不便对溅射靶材起到一个角度调节作用，以适应不同加工需求。

实用新型内容

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种溅射靶材加工装置，解决了现有的溅射靶材加工装置不便对不同直径大小的溅射靶材进行固定、不便对溅射靶材起到一个角度调节作用的问题。

(二)技术方案

为实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案予以实现：一种溅射靶材加工装置，包括底板，所述底板上端面左侧中部固定连接有第一固定板，所述第一固定板右端面上侧固定连接有第一电机，所述第一电机输出端固定连接有第一转轴，所述第一转轴右端面固定连接有第一弧形板，所述第一弧形板内侧设有第一弧形槽，所述第一弧形槽内侧滑动连接有连接柱，所述连接柱下端面固定连接有滑块。

优选的，所述滑块通过第三弧形槽滑动连接有转动球，所述转动球前后两侧中部固定连接有第二转轴，所述底板上端面右侧前后两部均固定连接有第二固定板。

优选的，后侧所述第二固定板前端面上侧固定连接有第二电机，所述第二电机输出端固定连接有所述第二转轴，所述第二转轴外侧后端固定连接有第二弧形板，所述第二弧形板通过第二弧形槽滑动连接有所述连接柱。

优选的，所述连接柱上端面固定连接有连接套，所述连接套左侧中部固定连接有连接杆，所述连接杆上端右端面固定连接有第三电机，所述第三电机上端面固定连接有滑槽板。

优选的，所述滑槽板均匀设有滑槽，所述滑槽内滑动连接有矩形块，所述矩形块上端面固定连接有V型块，所述V型块下端面滑动连接有所述滑槽板，所述第三电机输出端固定连接有螺纹杆。

优选的，所述矩形块两侧均通过销轴转动连接有转动杆，所述转动杆下端内侧通过所述销轴转动连接有升降块，所述升降块相互靠近的端面固定连接有螺纹套，所述螺纹套螺纹连接有所述螺纹杆，所述螺纹杆下端转动连接有所述连接套。

(三)有益效果

本实用新型提供了一种溅射靶材加工装置。具备以下有益效果：

(1)、该溅射靶材加工装置，通过启动第二电机，第二电机带动第二转轴转动，转动球发生转动，连接柱在第一弧形槽内滑动，使连接柱左右倾斜，然后再启动第一电机，第一电机带动第一转轴转动，第一转轴带动第一弧形板转动，第一弧形板带动连接柱在第二弧形槽内滑动，调节连接柱前后倾斜角度，从而更便于对溅射靶材的倾斜角度进行调整，进而适应不同加工需求。

(2)、该溅射靶材加工装置，通过将溅射靶材放置在滑槽板上端面，然后启动第三电机带动螺纹杆转动，螺纹套上升或下降，螺纹套带动升降块上升或下降，转动杆转动，带动矩形块在滑槽内滑动，使V型块相互靠近或远离，将溅射靶材夹持住，从而更便于对不同直径大小的溅射靶材进行固定。