[实用新型]一种溅射靶材加工装置

权利要求书

1.一种溅射靶材加工装置，包括底板(1)，其特征在于：所述底板(1)上端面左侧中部固定连接有第一固定板(2)，所述第一固定板(2)右端面上侧固定连接有第一电机(3)，所述第一电机(3)输出端固定连接有第一转轴(4)，所述第一转轴(4)右端面固定连接有第一弧形板(5)，所述第一弧形板(5)内侧设有第一弧形槽(6)，所述第一弧形槽(6)内侧滑动连接有连接柱(15)，所述连接柱(15)下端面固定连接有滑块(14)。

2.根据权利要求1所述的一种溅射靶材加工装置，其特征在于：所述滑块(14)通过第三弧形槽(13)滑动连接有转动球(12)，所述转动球(12)前后两侧中部固定连接有第二转轴(9)，所述底板(1)上端面右侧前后两部均固定连接有第二固定板(7)。

3.根据权利要求2所述的一种溅射靶材加工装置，其特征在于：后侧所述第二固定板(7)前端面上侧固定连接有第二电机(8)，所述第二电机(8)输出端固定连接有所述第二转轴(9)，所述第二转轴(9)外侧后端固定连接有第二弧形板(10)，所述第二弧形板(10)通过第二弧形槽(11)滑动连接有所述连接柱(15)。

4.根据权利要求1所述的一种溅射靶材加工装置，其特征在于：所述连接柱(15)上端面固定连接有连接套(16)，所述连接套(16)左侧中部固定连接有连接杆(17)，所述连接杆(17)上端右端面固定连接有第三电机(19)，所述第三电机(19)上端面固定连接有滑槽板(20)。

5.根据权利要求4所述的一种溅射靶材加工装置，其特征在于：所述滑槽板(20)均匀设有滑槽(21)，所述滑槽(21)内滑动连接有矩形块(23)，所述矩形块(23)上端面固定连接有V型块(22)，所述V型块(22)下端面滑动连接有所述滑槽板(20)，所述第三电机(19)输出端固定连接有螺纹杆(18)。

6.根据权利要求5所述的一种溅射靶材加工装置，其特征在于：所述矩形块(23)两侧均通过销轴(24)转动连接有转动杆(25)，所述转动杆(25)下端内侧通过所述销轴(24)转动连接有升降块(26)，所述升降块(26)相互靠近的端面固定连接有螺纹套(27)，所述螺纹套(27)螺纹连接有所述螺纹杆(18)，所述螺纹杆(18)下端转动连接有所述连接套(16)。