[实用新型]用于复合材料气相沉积炉的中心加热器结构有效

专利信息
申请号: 202122976271.9 申请日: 2021-11-30
公开(公告)号: CN216427406U 公开(公告)日: 2022-05-03
发明(设计)人: 李梅;刘峰 申请(专利权)人: 常州曙光电子材料有限公司
主分类号: C23C16/46 分类号: C23C16/46
代理公司: 常州中润迅达专利代理事务所(普通合伙) 32624 代理人: 李静
地址: 213000 江苏省常*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型涉及气相沉积炉加热技术领域,尤其涉及用于复合材料气相沉积炉的中心加热器结构,解决了现有气相沉积炉加热部件管路繁多,成本高的缺点,包括转盘、贯穿转盘轴心设置的供气管以及转动电机,通过在供气管的外部套接菱形盘,并通过转动电机驱动套设在供气管外部的转盘转动,使得转盘顶部循环箱内设置的推拉杆作用在菱形盘外部,在转动电机驱动转动的过程中,菱形盘会配合复位弹簧实现推拉杆的往复传动,从而推动置于循环箱内的活塞配合两个单向阀循环抽取换热管内的导热液,以此提高导热液的导热效率,并在转动电机的作用下,在炉体内部轴向转动,能够为炉体内部进行均匀供热,结构简单,且大大降低了加热成本,实用性强。
搜索关键词: 用于 复合材料 沉积 中心 加热器 结构
【主权项】:
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