[实用新型]用于复合材料气相沉积炉的中心加热器结构有效
申请号: | 202122976271.9 | 申请日: | 2021-11-30 |
公开(公告)号: | CN216427406U | 公开(公告)日: | 2022-05-03 |
发明(设计)人: | 李梅;刘峰 | 申请(专利权)人: | 常州曙光电子材料有限公司 |
主分类号: | C23C16/46 | 分类号: | C23C16/46 |
代理公司: | 常州中润迅达专利代理事务所(普通合伙) 32624 | 代理人: | 李静 |
地址: | 213000 江苏省常*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 复合材料 沉积 中心 加热器 结构 | ||
1.用于复合材料气相沉积炉的中心加热器结构,包括转盘(1)、贯穿转盘(1)轴心设置的供气管(3)以及转动电机(2),其特征在于,所述转盘(1)的底部设置有换热管(6),所述换热管(6)的内部插设有加热棒(7),换热管(6)的内部还注有导热液(8),转盘(1)的顶部设置有循环箱(5),所述供气管(3)的端部外侧套接固定有菱形盘(9);
所述循环箱(5)的端部内侧设置有推拉杆(10),所述推拉杆(10)位于循环箱(5)内部一端套接有活塞(11),循环箱(5)的端部还设置有复位弹簧(12)。
2.根据权利要求1所述的用于复合材料气相沉积炉的中心加热器结构,其特征在于,所述循环箱(5)的端部下方设置有两个单向阀(13),其通过单向阀(13)连接有导液管(14),所述导液管(14)与换热管(6)连接。
3.根据权利要求2所述的用于复合材料气相沉积炉的中心加热器结构,其特征在于,所述加热棒(7)分隔换热管(6)内部空间呈现U形设置,两所述导液管(14)分别置于换热管(6)位于加热棒(7)的两侧内部。
4.根据权利要求1所述的用于复合材料气相沉积炉的中心加热器结构,其特征在于,所述推拉杆(10)位于循环箱(5)外部一端通过转轴连接有导轮,其通过导轮作用在菱形盘(9)表面。
5.根据权利要求1所述的用于复合材料气相沉积炉的中心加热器结构,其特征在于,所述复位弹簧(12)的两端分别与循环箱(5)的端部内壁以及活塞(11)端部抵触。
6.根据权利要求1所述的用于复合材料气相沉积炉的中心加热器结构,其特征在于,所述转动电机(2)的输出轴与转盘(1)的外部均套接有传动带轮,所述传动带轮的外部绕设有传动带(4)。
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C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的