[实用新型]用于复合材料气相沉积炉的中心加热器结构

说明书

本实用新型涉及气相沉积炉加热技术领域，尤其涉及用于复合材料气相沉积炉的中心加热器结构，解决了现有气相沉积炉加热部件管路繁多，成本高的缺点，包括转盘、贯穿转盘轴心设置的供气管以及转动电机，通过在供气管的外部套接菱形盘，并通过转动电机驱动套设在供气管外部的转盘转动，使得转盘顶部循环箱内设置的推拉杆作用在菱形盘外部，在转动电机驱动转动的过程中，菱形盘会配合复位弹簧实现推拉杆的往复传动，从而推动置于循环箱内的活塞配合两个单向阀循环抽取换热管内的导热液，以此提高导热液的导热效率，并在转动电机的作用下，在炉体内部轴向转动，能够为炉体内部进行均匀供热，结构简单，且大大降低了加热成本，实用性强。

技术领域

本实用新型涉及气相沉积炉加热技术领域，尤其涉及用于复合材料气相沉积炉的中心加热器结构。

背景技术

气相沉积炉是应用气态物质在固体上产生化学反应和传输反应等并产生固态沉积物的一种设备，在中温、高温或者常压下都可以进行反应，化学气相沉积法不但可以对晶体或者晶体薄膜性能的改善有所帮助。

现有的复合材料气相沉积炉用于加热的管路繁多，占据炉体内较多空间，且为了保证炉体内部热量均匀，因而需要利用多根加热棒，成本高。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有气相沉积炉加热部件管路繁多，成本高的缺点，而提出的用于复合材料气相沉积炉的中心加热器结构。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

用于复合材料气相沉积炉的中心加热器结构，包括转盘、贯穿转盘轴心设置的供气管以及转动电机，所述转盘的底部设置有换热管，所述换热管的内部插设有加热棒，换热管的内部还注有导热液，转盘的顶部设置有循环箱，所述供气管的端部外侧套接固定有菱形盘；

所述循环箱的端部内侧设置有推拉杆，所述推拉杆位于循环箱内部一端套接有活塞，循环箱的端部还设置有复位弹簧。

优选的，所述循环箱的端部下方设置有两个单向阀，其通过单向阀连接有导液管，所述导液管与换热管连接。

优选的，所述加热棒分隔换热管内部空间呈现U形设置，两所述导液管分别置于换热管位于加热棒的两侧内部。

优选的，所述推拉杆位于循环箱外部一端通过转轴连接有导轮，其通过导轮作用在菱形盘表面。

优选的，所述复位弹簧的两端分别与循环箱的端部内壁以及活塞端部抵触。

优选的，所述转动电机的输出轴与转盘的外部均套接有传动带轮，所述传动带轮的外部绕设有传动带。

本实用新型的有益效果是：通过在供气管的外部套接菱形盘，并通过转动电机驱动套设在供气管外部的转盘转动，使得转盘顶部循环箱内设置的推拉杆作用在菱形盘外部，在转动电机驱动转动的过程中，菱形盘会配合复位弹簧实现推拉杆的往复传动，从而推动置于循环箱内的活塞配合两个单向阀循环抽取换热管内的导热液，以此提高导热液的导热效率，并在转动电机的作用下，在炉体内部轴向转动，能够为炉体内部进行均匀供热，结构简单，且大大降低了加热成本，实用性强。

附图说明

图1为本实用新型提出的用于复合材料气相沉积炉的中心加热器结构的结构示意图；

图2为本实用新型提出的用于复合材料气相沉积炉的中心加热器结构的俯视结构示意图；

图3为本实用新型提出的用于复合材料气相沉积炉的中心加热器结构的图2中的A处局部剖视结构示意图。

图中：1、转盘；2、转动电机；3、供气管；4、传动带；5、循环箱；6、换热管；7、加热棒；8、导热液；9、菱形盘；10、推拉杆；11、活塞；12、复位弹簧；13、单向阀；14、导液管。

具体实施方式