[实用新型]一种用于芯片检验的治具有效
| 申请号: | 202122969432.1 | 申请日: | 2021-11-30 |
| 公开(公告)号: | CN217112421U | 公开(公告)日: | 2022-08-02 |
| 发明(设计)人: | 骆娴 | 申请(专利权)人: | 绍兴中芯集成电路制造股份有限公司 |
| 主分类号: | G01R1/04 | 分类号: | G01R1/04;G01R31/28 |
| 代理公司: | 绍兴市知衡专利代理事务所(普通合伙) 33277 | 代理人: | 张媛 |
| 地址: | 312000 浙*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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| 摘要: | 本实用新型公开一种用于芯片检验的治具,包括基板和盖板,基板上设有用于放置芯片的容纳空间;容纳空间与外界连通,形成连通口,盖板装配在连通口处;盖板中与容纳空间相对应的部位为观察窗,用于观察放置在容纳空间内的芯片结构。该治具具有检验方便、快速,芯片不易掉落损毁的特点。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 用于 芯片 检验 | ||
【主权项】:
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