[实用新型]一种用于芯片检验的治具

说明书

本实用新型公开一种用于芯片检验的治具，包括基板和盖板，基板上设有用于放置芯片的容纳空间；容纳空间与外界连通，形成连通口，盖板装配在连通口处；盖板中与容纳空间相对应的部位为观察窗，用于观察放置在容纳空间内的芯片结构。该治具具有检验方便、快速，芯片不易掉落损毁的特点。

技术领域

本实用新型涉及专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备领域，特别涉及一种用于芯片检验的治具。

背景技术

芯片制作完成后，需对其外观进行检验，现有的检验方法为工作人员使用吸笔或防静电镊子手动夹取芯片放置到显微镜下，先进行芯片正面检验，确认芯片正面后再用吸笔或镊子夹取翻转芯片，检验芯片背面。由于芯片较小，在人工手动夹取翻转转移过程中极易造成芯片掉落、破损。

鉴于上述问题，本实用新型设计出一种用于芯片检验的治具，本案由此产生。

实用新型内容

本实用新型提供一种用于芯片检验的治具，该治具具有检验方便、快速，芯片不易掉落损毁的特点；具体地，本实用新型是通过以下技术方案实现：

一种用于芯片检验的治具，包括基板和盖板，基板上设有用于放置芯片的容纳空间；容纳空间与外界连通，形成连通口，连通口用于芯片进出，盖板装配在连通口处；盖板中与容纳空间相对应的部位为观察窗，用于观察放置在容纳空间内的芯片结构。

芯片通过连通口进入，放置在治具的容纳空间内，同时在容纳空间的连通口处设置盖板，从而将芯片收纳在容纳空间内，翻转时只需将治具进行翻转，即可实现芯片的翻转，且芯片在翻转过程中，由于盖板以及容纳空间的设置，芯片在容纳空间内不会发生位移，也不会脱落损坏；工作人员通过观察窗观察到芯片正反两面的结构。

治具的设置免去了直接接触芯片翻转的过程，将芯片放置在治具内，相当于在芯片外增加了一个保护装置，保护了芯片；同时由于增加了治具，治具的体型大于芯片，便于翻转捏持，可配合采用翻转用的机械手，与现有人工手动翻转相比，将首件检查的所需时间从10min/次提升至2min/次，极大的减少待机时间，使得翻转芯片更为快速和方便。

进一步，基板上开孔形成容纳空间，或者在基板上设置凸台，由凸台包围形成容纳空间。

进一步，容纳空间为贯通基板的通孔，通孔两端连通口皆装配有盖板；两盖板与基板皆为活动装配，或者其中一盖板与基板为活动装配，另一盖板与基板固定装配。

进一步，容纳空间为设置在基板上的盲孔，基板中处于盲孔的底端的部位为观察窗，盖板活动装配在盲孔的连通口处。

活动式盖板的设置，使得芯片的取放更为方便。

进一步，观察窗处的材质为透明材质。

透明材质设置方便工作人员观察。

进一步，在盖板上或者容纳空间内设置有用于定位芯片的定位凹槽。

同时由于盖板中与芯片接触的一面上根据所接触芯片的表面上的凸起设置定位凹槽，使得芯片装在容纳空间内翻转后仍能保持原先位置。

进一步，活动装配的盖板为活动式盖板；活动式盖板与基板滑动连接或者活动式盖板与基板铰接。

进一步，基板中与活动式盖板滑动连接的一面上设置滑槽，活动式盖板装配在滑槽内，滑槽的槽底或者槽壁上设置有限制活动式盖板滑动行程的闭合限位块和打开限位块。

闭合限位块，用于限制活动式盖板在滑槽内的移动，当活动式盖板触碰到闭合限位块时，活动式盖板无法沿着原先方向继续移动，避免活动式盖板从滑槽的其中一端滑出滑槽；同时当活动式盖板触碰到闭合限位块时，此时活动式盖板恰好将连通口完全遮蔽，连通口关闭。