[实用新型]一种用于芯片检验的治具有效
| 申请号: | 202122969432.1 | 申请日: | 2021-11-30 |
| 公开(公告)号: | CN217112421U | 公开(公告)日: | 2022-08-02 |
| 发明(设计)人: | 骆娴 | 申请(专利权)人: | 绍兴中芯集成电路制造股份有限公司 |
| 主分类号: | G01R1/04 | 分类号: | G01R1/04;G01R31/28 |
| 代理公司: | 绍兴市知衡专利代理事务所(普通合伙) 33277 | 代理人: | 张媛 |
| 地址: | 312000 浙*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 用于 芯片 检验 | ||
1.一种用于芯片检验的治具,其特征在于:包括基板和盖板,基板上设有用于放置芯片的容纳空间;容纳空间与外界连通,形成连通口,盖板装配在连通口处;盖板中与容纳空间相对应的部位为观察窗,用于观察放置在容纳空间内的芯片结构。
2.根据权利要求1所述的一种用于芯片检验的治具,其特征在于:基板上开孔形成容纳空间,或者在基板上设置凸台,由凸台包围形成容纳空间。
3.根据权利要求2所述的一种用于芯片检验的治具,其特征在于:容纳空间为贯通基板的通孔,通孔两端连通口皆装配有盖板;两盖板与基板皆为活动装配,或者其中一盖板与基板为活动装配,另一盖板与基板固定装配。
4.根据权利要求2所述的一种用于芯片检验的治具,其特征在于:容纳空间为设置在基板上的盲孔,基板中处于盲孔的底端的部位为观察窗,盖板活动装配在盲孔的连通口处。
5.根据权利要求1至4任意一项所述的一种用于芯片检验的治具,其特征在于:观察窗处的材质为透明材质。
6.根据权利要求1至4任意一项所述的一种用于芯片检验的治具,其特征在于:在盖板上或者容纳空间内设置有用于定位芯片的定位凹槽。
7.根据权利要求2至4任意一项所述的一种用于芯片检验的治具,其特征在于:活动装配的盖板为活动式盖板;活动式盖板与基板滑动连接或者活动式盖板与基板铰接。
8.根据权利要求7所述的一种用于芯片检验的治具,其特征在于:基板中与活动式盖板滑动连接的一面上设置滑槽,活动式盖板装配在滑槽内,滑槽的槽底或者槽壁上设置有限制活动式盖板滑动行程的闭合限位块和打开限位块。
9.根据权利要求8所述的一种用于芯片检验的治具,其特征在于:滑槽中处于滑槽顶部位置的槽壁向内凸出,滑槽的横截面为燕尾形或者“凸”字形。
10.根据权利要求7所述的一种用于芯片检验的治具,其特征在于:连通口旁设置扣手凹槽,扣手凹槽与容纳空间连通。
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