[实用新型]一种霍尔离子源气体分流器有效
| 申请号： | 202122957381.0 | 申请日： | 2021-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN216473442U | 公开（公告）日： | 2022-05-10 |
| 发明（设计）人： | 吴春文;李健;孙宏宇;邓天容 | 申请（专利权）人： | 江西华派光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/02 | 分类号： | C23C14/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 341800 *** | 国省代码： | 江西;36 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及镀膜装置技术领域，公开了一种霍尔离子源气体分流器，包括圆盘和圆锥体，圆盘上开设有定位孔，圆锥体的周围开设有分流孔，所述圆盘和圆锥体为分体式结构，圆盘的中心开设有安装孔，所述圆锥体安装在安装孔内。本实用新型的目的在于降低气体分流器的保养和更换难度，提升效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 霍尔 离子源 气体 分流器 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于江西华派光电科技有限公司，未经江西华派光电科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202122957381.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种高扬程、大流量电站锅炉清洗平台
- 下一篇：一种恒温搅拌反应釜
- 同类专利
- 专利分类
