[实用新型]一种霍尔离子源气体分流器有效
| 申请号： | 202122957381.0 | 申请日： | 2021-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN216473442U | 公开（公告）日： | 2022-05-10 |
| 发明（设计）人： | 吴春文;李健;孙宏宇;邓天容 | 申请（专利权）人： | 江西华派光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/02 | 分类号： | C23C14/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 341800 *** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 霍尔 离子源 气体 分流器 | ||
【权利要求书】：
1.一种霍尔离子源气体分流器，包括圆盘和圆锥体，圆盘上开设有定位孔，圆锥体的周围开设有分流孔，其特征在于：所述圆盘和圆锥体为分体式结构，圆盘的中心开设有安装孔，所述圆锥体安装在安装孔内。
2.根据权利要求1所述的一种霍尔离子源气体分流器，其特征在于：所述安装孔内开设有内螺纹，圆锥体上的圆柱部分加工有外螺纹。
3.根据权利要求1所述的一种霍尔离子源气体分流器，其特征在于：所述圆锥体的底面开设有凹槽，凹槽内设置有旋钮。
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