[实用新型]一种霍尔离子源气体分流器

说明书

本实用新型涉及镀膜装置技术领域，公开了一种霍尔离子源气体分流器，包括圆盘和圆锥体，圆盘上开设有定位孔，圆锥体的周围开设有分流孔，所述圆盘和圆锥体为分体式结构，圆盘的中心开设有安装孔，所述圆锥体安装在安装孔内。本实用新型的目的在于降低气体分流器的保养和更换难度，提升效率。

技术领域

本实用新型涉及镀膜装置技术领域，特别是涉及一种霍尔离子源气体分流器。

背景技术

现有真空镀膜机通常都加装有霍尔离子源用于对玻璃、复合板等基材的表面进行清洁，或用于镀膜时材料的辅助。镀膜前的清洁可使膜层与基材之间结合度更好，用于镀膜过程中的辅助，可使镀膜材料更致密和提高镀膜材料的折射率和减少材料的吸收，提升膜层性能。霍尔离子源具有低能大束流，能流密度较大，发射角大，使用成本低等优点，但是由于使用过程中温度高，离子束流在离子源仓体内能量高，使离子源内部的气体分流器容易损坏，更换频繁。

离子源工作过程中内部会产生废渣，如果不取出离子源内部的杂质，离子源很大可能会打火，离子束流不稳定等机械式异常，由于离子源内产生高速离子轰击基材，还可能把杂质带到需镀膜基材上，导致镀膜后基材有黑点亮点不良产生。现有的保养霍尔离子源的方法是关掉冷却水后将其整个拆掉进行喷砂打磨，更损耗配件，其中气体分流器更换最为频繁，浪费人力，物力，保养难度较高，尤其是更换气体分流器是整个拆下更换不能进行二次使用，对于生产和保养有局限性。

实用新型内容

本实用新型的目的在于解决上述问题，提供一种霍尔离子源气体分流器，其保养和更换难度低，效率高，同时能够降低生产成本。

本实用新型的目的通过以下技术方案来实现：

一种霍尔离子源气体分流器，包括圆盘和圆锥体，圆盘上开设有定位孔，圆锥体的周围开设有分流孔，所述圆盘和圆锥体为分体式结构，圆盘的中心开设有安装孔，所述圆锥体安装在安装孔内。

上述的霍尔离子源气体分流器将中心圆锥体部分与圆盘之间做成分体结构，在保养和更换时，只需将易损耗的圆锥体部分拆下更换即可，操作简单，效率高，同时降低了生产成本。

进一步的，所述安装孔内开设有内螺纹，圆锥体上的圆柱部分加工有外螺纹，其作用在于：通过螺纹配合安装圆锥体，降低其安装定位难度。

进一步的，所述圆锥体的底面开设有凹槽，凹槽内设置有旋钮，其作用在于：方便圆锥体的拆装。

结合以上技术方案，与现有技术相比，本实用新型所提供的一种霍尔离子源气体分流器，其有益效果是：

本实用新型所提供的一种霍尔离子源气体分流器通过分体式的圆盘和圆锥体，降低了保养和更换时的难度，提升了保养和更换效率，同时降低了易损件的成本，从而节约生产成本。

附图说明

图1为本实用新型所述的一种霍尔离子源气体分流器的结构示意图。

图2为本实用新型所述的凹槽和旋钮的位置示意图。

其中，1-圆盘，11-定位孔，12-分流孔，13-安装孔，14-内螺纹，2-圆锥体，21-外螺纹，22-凹槽，23-旋钮。

具体实施方式

为详细说明本实用新型的技术特征和所实现的目的和效果，以下结合附图做进一步的描述:

如图1-2所示，一种霍尔离子源气体分流器，包括圆盘1和圆锥体2，圆盘1上开设有定位孔11，圆锥体2的周围开设有分流孔12，所述圆盘1和圆锥体2为分体式结构，圆盘1的中心开设有安装孔13，所述圆锥体2安装在安装孔13内。

优选的，所述安装孔13内开设有内螺纹14，圆锥体2上的圆柱部分加工有外螺纹21。

优选的，所述圆锥体2的底面开设有凹槽22，凹槽22内设置有旋钮23。