[实用新型]一种半导体芯片生产设备的机械手传送装置有效
| 申请号： | 202122955784.1 | 申请日： | 2021-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN216426006U | 公开（公告）日： | 2022-05-03 |
| 发明（设计）人： | 卢晓冬 | 申请（专利权）人： | 宜兴同芯电子科技有限公司 |
| 主分类号： | B65G47/91 | 分类号： | B65G47/91 |
| 代理公司： | 宜兴市兴宇知识产权代理事务所(普通合伙) 32392 | 代理人： | 杜振军 |
| 地址： | 214200 江苏省无锡*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种半导体芯片生产设备的机械手传送装置，包括底座，底座的顶部两端对称固定设有支撑板，支撑板的顶部活动插设有活动板，两个活动板的顶部之间固定设有固定座，固定座下方的底座顶部固定设有电动推杆，固定座的顶部固定设有活动槽，活动槽内转动插设有丝杆，丝杆上螺纹转动套设有移动座，移动座的一端固定设有连接柱，连接柱远离移动座的一端转动套设有支撑杆，支撑杆上固定设有控制装置，支撑杆远离移动座的一端顶部固定设有气缸，气缸的伸缩端活动延伸出支撑杆固定设有基座，基座的底部固定设有真空吸头。该种半导体芯片生产设备的机械手传送装置操作简单，能够进行灵活调节，提高了装置的适用性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体 芯片 生产 设备 机械手 传送 装置 | ||
【主权项】：
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