[实用新型]一种半导体芯片生产设备的机械手传送装置

说明书

本实用新型公开了一种半导体芯片生产设备的机械手传送装置，包括底座，底座的顶部两端对称固定设有支撑板，支撑板的顶部活动插设有活动板，两个活动板的顶部之间固定设有固定座，固定座下方的底座顶部固定设有电动推杆，固定座的顶部固定设有活动槽，活动槽内转动插设有丝杆，丝杆上螺纹转动套设有移动座，移动座的一端固定设有连接柱，连接柱远离移动座的一端转动套设有支撑杆，支撑杆上固定设有控制装置，支撑杆远离移动座的一端顶部固定设有气缸，气缸的伸缩端活动延伸出支撑杆固定设有基座，基座的底部固定设有真空吸头。该种半导体芯片生产设备的机械手传送装置操作简单，能够进行灵活调节，提高了装置的适用性。

技术领域

本实用新型涉及半导体芯片生产设备技术领域，具体为一种半导体芯片生产设备的机械手传送装置。

背景技术

半导体芯片是指在半导体片材上进行浸蚀，布线，制成的能实现某种功能的半导体器件，不只是硅芯片，常见的还包括砷化镓，锗等半导体材料。半导体芯片生产过程中，常常需要使用机械手对半导体芯片的基板板材进行输送加工。现有半导体芯片生产设备的机械手通常位置固定，而且结构复杂，不便于调节。因此我们对此做出改进，提出一种半导体芯片生产设备的机械手传送装置。

实用新型内容

为了解决上述技术问题，本实用新型提供了如下的技术方案：

本实用新型一种半导体芯片生产设备的机械手传送装置，包括底座，所述底座的底部四角均固定设有滚轮，所述底座的顶部两端对称固定设有支撑板，所述支撑板的顶部活动插设有活动板，两个所述活动板的顶部之间固定设有固定座，所述固定座下方的底座顶部固定设有电动推杆，且电动推杆的伸缩端与固定座的底部固定连接，所述固定座的顶部固定设有活动槽，所述活动槽内转动插设有丝杆，所述丝杆上螺纹转动套设有移动座，所述移动座的一端固定设有连接柱，所述连接柱远离移动座的一端转动套设有支撑杆，所述支撑杆上固定设有控制装置，所述支撑杆远离移动座的一端顶部固定设有气缸，所述气缸的伸缩端活动延伸出支撑杆固定设有基座，所述基座的底部固定设有真空吸头。

作为本实用新型一种优选技术方案，所述控制装置包括固定设在支撑杆位于连接柱一端上的转轴，所述转轴远离支撑杆的一端转动延伸进移动座内固定设有一号锥齿轮，所述移动座内固定设有与一号锥齿轮配合使用的活动腔，所述一号锥齿轮上啮合有二号锥齿轮，所述二号锥齿轮的顶部传动连接有二号电机，且二号电机固定连接在移动座的顶部。

作为本实用新型一种优选技术方案，其中一个所述支撑板远离底座的一侧顶端固定设有握把。

作为本实用新型一种优选技术方案，所述移动座的底端两侧对称活动插设有定位杆，且定位杆的两端固定连接在活动槽上。

作为本实用新型一种优选技术方案，所述丝杆的一端转动延伸出固定座传动连接有一号电机。

作为本实用新型一种优选技术方案，所述活动板的底端两侧对称固定设有滑块，所述支撑板内固定设有与滑块配合使用的滑槽。

本实用新型的有益效果是：

1、该种半导体芯片生产设备的机械手传送装置，通过滚轮便于对底座进行移动以及通过电动推杆便于调节固定座的高度，从而增加了整个装置的灵活性；

2、该种半导体芯片生产设备的机械手传送装置，通过转动丝杆带动移动座在活动槽内来回移动，移动的移动座带动真空吸盘进行移动，从而通过真空吸盘吸取半导体芯片后进行转移加工，并且通过控制装置带动支撑杆在连接柱上进行旋转，从而便于半导体芯片进行不同的加工。

附图说明

附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制。在附图中：

图1是本实用新型一种半导体芯片生产设备的机械手传送装置的主体结构示意图；