[实用新型]一种半导体芯片生产设备的机械手传送装置

权利要求书

1.一种半导体芯片生产设备的机械手传送装置，包括底座（1），其特征在于，所述底座（1）的底部四角均固定设有滚轮（2），所述底座（1）的顶部两端对称固定设有支撑板（3），所述支撑板（3）的顶部活动插设有活动板（4），两个所述活动板（4）的顶部之间固定设有固定座（5），所述固定座（5）下方的底座（1）顶部固定设有电动推杆（6），且电动推杆（6）的伸缩端与固定座（5）的底部固定连接，所述固定座（5）的顶部固定设有活动槽（7），所述活动槽（7）内转动插设有丝杆（8），所述丝杆（8）上螺纹转动套设有移动座（9），所述移动座（9）的一端固定设有连接柱（10），所述连接柱（10）远离移动座（9）的一端转动套设有支撑杆（11），所述支撑杆（11）上固定设有控制装置（12），所述支撑杆（11）远离移动座（9）的一端顶部固定设有气缸（13），所述气缸（13）的伸缩端活动延伸出支撑杆（11）固定设有基座（14），所述基座（14）的底部固定设有真空吸头（15）。

2.根据权利要求1所述的一种半导体芯片生产设备的机械手传送装置，其特征在于，所述控制装置（12）包括固定设在支撑杆（11）位于连接柱（10）一端上的转轴（121），所述转轴（121）远离支撑杆（11）的一端转动延伸进移动座（9）内固定设有一号锥齿轮（122），所述移动座（9）内固定设有与一号锥齿轮（122）配合使用的活动腔（123），所述一号锥齿轮（122）上啮合有二号锥齿轮（124），所述二号锥齿轮（124）的顶部传动连接有二号电机（125），且二号电机（125）固定连接在移动座（9）的顶部。

3.根据权利要求1所述的一种半导体芯片生产设备的机械手传送装置，其特征在于，其中一个所述支撑板（3）远离底座（1）的一侧顶端固定设有握把（31）。

4.根据权利要求1所述的一种半导体芯片生产设备的机械手传送装置，其特征在于，所述移动座（9）的底端两侧对称活动插设有定位杆（91），且定位杆（91）的两端固定连接在活动槽（7）上。

5.根据权利要求1所述的一种半导体芯片生产设备的机械手传送装置，其特征在于，所述丝杆（8）的一端转动延伸出固定座（5）传动连接有一号电机（81）。

6.根据权利要求1所述的一种半导体芯片生产设备的机械手传送装置，其特征在于，所述活动板（4）的底端两侧对称固定设有滑块（41），所述支撑板（3）内固定设有与滑块（41）配合使用的滑槽（42）。