[实用新型]纳米压印复合模板有效
| 申请号： | 202122920347.6 | 申请日： | 2021-11-25 |
| 公开（公告）号： | CN216449891U | 公开（公告）日： | 2022-05-06 |
| 发明（设计）人： | 罗刚 | 申请（专利权）人： | 罗刚 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00 |
| 代理公司： | 苏州三英知识产权代理有限公司 32412 | 代理人： | 潘时伟 |
| 地址： | 瑞典比*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种纳米压印复合模板，其包括沿第一方向依次层叠设置的基底层、第一弹性材料层、第二弹性材料层和第三弹性材料层，所述第三弹性材料层背离所述第二弹性材料层的一面上形成有纳米压印结构；其中，所述第一弹性材料层和所述第三弹性材料层的杨氏模量均在所述第一方向上逐渐减小。本实用新型提供的纳米压印复合模板，通过在的基底层上形成杨氏模量渐变的第一弹性材料层和第三弹性材料层，优化了纳米压印复合模板的层结构，能够在压印过程中起到缓冲过渡作用，减少压印过程中弹性材料层和基底层结合处开裂的问题，延长复合模板的使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 纳米 压印 复合 模板 | ||
【主权项】：
暂无信息
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