[实用新型]纳米压印复合模板

权利要求书

1.一种纳米压印复合模板，其特征在于，包括沿第一方向依次层叠设置的基底层、第一弹性材料层、第二弹性材料层和第三弹性材料层，所述第三弹性材料层背离所述第二弹性材料层的一面上形成有纳米压印结构；

其中，所述第一弹性材料层和所述第三弹性材料层的杨氏模量均在所述第一方向上逐渐减小。

2.如权利要求1所述的纳米压印复合模板，其特征在于，所述第一弹性材料层的最小杨氏模量与所述第二弹性材料层的杨氏模量的差值不超过1MPa，并且所述第三弹性材料层的最大杨氏模量与所述第二弹性材料层的杨氏模量的差值不超过1MPa。

3.如权利要求2所述的纳米压印复合模板，其特征在于，所述第一弹性材料层的最大杨氏模量为100MPa、最小杨氏模量为10MPa，所述第一弹性材料层的厚度为1～5mm。

4.如权利要求2所述的纳米压印复合模板，其特征在于，所述第二弹性材料层的杨氏模量为10～15MPa，所述第二弹性材料层的厚度为1～10mm。

5.如权利要求2所述的纳米压印复合模板，其特征在于，所述第三弹性材料层的最大杨氏模量为10MPa、最小杨氏模量为0.1MPa，所述第三弹性材料层的厚度为1～5mm。

6.如权利要求1所述的纳米压印复合模板，其特征在于，所述基底层的为杨氏模量为1～10GPa，所述基底层的厚度为100～200μm。

7.如权利要求6所述的纳米压印复合模板，其特征在于，所述基底层靠近所述第一弹性材料层的一面上形成有楔形结构。

8.如权利要求1所述的纳米压印复合模板，其特征在于，所述第一弹性材料层和所述第三弹性材料层以3D打印的方式浇筑而成。

9.如权利要求1～8中任一项所述的纳米压印复合模板，其特征在于，所述第一弹性材料层、所述第二弹性材料层和所述第三弹性材料层均为PDMS层。

10.如权利要求1～8中任一项所述的纳米压印复合模板，其特征在于，所述基底层为光学树脂层。