[实用新型]一种晶圆划痕检测装置

摘要

本实用新型公开了一种晶圆划痕检测装置，涉及晶圆划痕检测技术领域，为解决现有的晶圆划痕检测容易受到环境影响导致检测不够准确的问题。所述透明外箱外部上端的一侧安装有固定外壳，且固定外壳与透明外箱固定连接，所述固定外壳内部的中间位置处安装有第三驱动电机，且第三驱动电机与固定外壳通过固定块连接，所述第三驱动电机的输出端安装有叶轮，所述透明外箱外部前端的一侧安装有透明门板，且透明门板与透明外箱转动连接，所述透明外箱下端内部的一侧设置有内腔，所述内腔内部前端的一侧安装有储灰盒，所述储灰盒内部后端的一侧安装有过滤网，且过滤网与储灰盒固定连接，所述透明外箱内部下端靠近储灰盒的一侧设置有通风口。