[实用新型]一种晶圆划痕检测装置

权利要求书

1.一种晶圆划痕检测装置，包括透明外箱(1)，其特征在于：所述透明外箱(1)外部上端的一侧安装有固定外壳(12)，且固定外壳(12)与透明外箱(1)固定连接，所述固定外壳(12)内部的中间位置处安装有第三驱动电机(22)，且第三驱动电机(22)与固定外壳(12)通过固定块(23)连接，所述第三驱动电机(22)的输出端安装有叶轮(21)，所述透明外箱(1)外部前端的一侧安装有透明门板(20)，且透明门板(20)与透明外箱(1)转动连接，所述透明外箱(1)下端内部的一侧设置有内腔(16)，所述内腔(16)内部前端的一侧安装有储灰盒(15)，所述储灰盒(15)内部后端的一侧安装有过滤网(17)，且过滤网(17)与储灰盒(15)固定连接，所述透明外箱(1)内部下端靠近储灰盒(15)的一侧设置有通风口(14)。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆划痕检测装置，其特征在于：所述内腔(16)内部靠近过滤网(17)的一侧安装有第二驱动电机(18)，且第二驱动电机(18)与内腔(16)固定连接，所述第二驱动电机(18)的输出端安装有扇叶(19)。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆划痕检测装置，其特征在于：所述透明外箱(1)内部前端的一侧安装有划痕检测器(2)、升降装置(5)和第一放置盒(4)，且升降装置(5)位于划痕检测器(2)与第一放置盒(4)之间，所述第一放置盒(4)和第二放置盒(3)内部的两侧均安装有若干置物条(24)，且置物条(24)依次分布。

4.根据权利要求3所述的一种晶圆划痕检测装置，其特征在于：所述升降装置(5)的上端安装有固定内壳(6)，且固定内壳(6)与升降装置(5)固定连接，所述固定内壳(6)的内部安装有第一驱动电机(7)，所述第一驱动电机(7)的输出端安装有固定盘(8)。

5.根据权利要求4所述的一种晶圆划痕检测装置，其特征在于：所述固定盘(8)外部的上端两侧安装有滑块(10)，且滑块(10)与固定盘(8)滑动连接，所述滑块(10)上端的一侧安装有固定架(11)，且固定架(11)与滑块(10)固定连接，所述滑块(10)下端位于固定盘(8)内部的两侧安装有电动推杆(9)，且电动推杆(9)与固定盘(8)固定连接。

6.根据权利要求1所述的一种晶圆划痕检测装置，其特征在于：所述固定外壳(12)外部前端的一侧安装有防尘网(13)，且防尘网(13)与固定外壳(12)固定连接。