[实用新型]晶圆检测探针台控制系统有效
| 申请号： | 202122910150.4 | 申请日： | 2021-11-24 |
| 公开（公告）号： | CN217133304U | 公开（公告）日： | 2022-08-05 |
| 发明（设计）人： | 李垒 | 申请（专利权）人： | 杭州长川科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26;G05B19/042 |
| 代理公司： | 杭州华进联浙知识产权代理有限公司 33250 | 代理人： | 何晓春 |
| 地址： | 310051 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本申请涉及一种晶圆检测探针台控制系统，包括：单片机和晶圆检测探针台；所述单片机与所述晶圆检测探针台连接；所述晶圆检测探针台包括晶圆检测部件以及运动控制部件，所述晶圆检测部件以及运动控制部件分别与所述单片机连接，所述晶圆检测部件用于对目标晶圆进行检测，并将检测信息传输给所述单片机，所述运动控制部件用于接收所述单片机的控制命令将所述目标晶圆传送到指定位置；所述单片机用于接收所述晶圆检测部件的检测信息，并基于所述检测信息向所述运动控制部件发送控制命令。通过本申请，实现了节约成本和缩小安装空间，以及使晶圆检测探针台易于升级改造的技术效果。 | ||
| 搜索关键词： | 检测 探针 控制系统 | ||
【主权项】：
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