[实用新型]晶圆检测探针台控制系统

说明书

本申请涉及一种晶圆检测探针台控制系统，包括：单片机和晶圆检测探针台；所述单片机与所述晶圆检测探针台连接；所述晶圆检测探针台包括晶圆检测部件以及运动控制部件，所述晶圆检测部件以及运动控制部件分别与所述单片机连接，所述晶圆检测部件用于对目标晶圆进行检测，并将检测信息传输给所述单片机，所述运动控制部件用于接收所述单片机的控制命令将所述目标晶圆传送到指定位置；所述单片机用于接收所述晶圆检测部件的检测信息，并基于所述检测信息向所述运动控制部件发送控制命令。通过本申请，实现了节约成本和缩小安装空间，以及使晶圆检测探针台易于升级改造的技术效果。

技术领域

本申请涉及晶圆探针台技术领域，特别是涉及一种晶圆检测探针台控制系统。

背景技术

随着半导体行业发展，国内外对于探针台需求增加，对探针台性能要求也在提高。探针台主要功能是进行晶圆检测，晶圆检测包括晶圆搬运和晶圆扫描功能。

现有技术中是采用工控机配置运动控制卡，通过脉冲和方向的方式操作伺服电机进行运动，并利用独立IO(输入检测、输出控制)模块获取位置传感器和电磁阀信号，用于实现晶圆搬运功能，晶圆扫描则需要采用专门的扫描设备，将扫描的结果通过通讯方式(串口、485、USB、网络等)传递给工控机，由工控机进行分析和处理。

要实现晶圆搬运和晶圆检测这两功能至少需要两个控制卡和两个工控机，8个伺服电机和与伺服电机数量对应的IO模块的个数，又因为控制卡的体积大，与IO模块之间的连线多，导致装配到探针台上时，需要考虑较大的安装空间。其次，控制卡与工控机之间的连线，以及控制卡与伺服电机之间的排线，相互之间容易受到电气干扰，在排布控制卡与工控机之间的连线，以及控制卡与伺服电机之间的连线时需要预留足够的空间来预防电气干扰，导致探针台需要更大的安装空间。又由于控制卡与工控机之间的连线，以及控制卡与伺服电机之间的连线较多，在探针台工作工程中，因为连线随伺服电机运动，导致控制卡与工控机之间的连线以及控制卡与伺服电机之间的连线的距离变小，容易引起连线之间的电气干扰，导致探针台故障，或无法正常工作。最后，由于考虑到连线间的电气干扰，若探针台设备中的伺服电机或者控制卡等部件需要升级或者改造时，需要重新调整探针台内部的电气规划和机械布局，否则，由于控制卡或者伺服电机的更换很容易因电气干扰导致探针台设备故障，导致探针台在升级后无法工作，所以，在升级探针台设备升级改造时，工作量和设计难度是巨大的，几乎等同于重新设计和布局，探针台升级改造难度大。另外，控制卡以及伺服电机的价格相对较高，导致探针台成本增加。

针对相关技术中存在现有的探针台的是由控制卡、IO模块和伺服电机等器件拼装组成，存在成本高、安装空间大，升级改造难度大的问题，目前还没有提出有效的解决方案。

发明内容

在本实施例中提供了一种晶圆检测探针台控制系统，以解决相关技术中现有的探针台的是由控制卡、IO模块和伺服电机等器件拼装组成，存在成本高、安装空间大，升级改造难度大的问题。

在本实施例中提供了一种晶圆检测探针台控制系统，包括：单片机和晶圆检测探针台；所述单片机与所述晶圆检测探针台连接；所述晶圆检测探针台包括晶圆检测部件以及运动控制部件，所述晶圆检测部件以及运动控制部件分别与所述单片机连接，所述晶圆检测部件用于对目标晶圆进行检测，并将检测信息传输给所述单片机，所述运动控制部件用于接收所述单片机的控制命令将所述目标晶圆传送到指定位置；所述单片机用于接收所述晶圆检测部件的检测信息，并基于所述检测信息向所述运动控制部件发送控制命令。

在其中的一些实施例中，所述系统还包括FPGA芯片，所述FPGA芯片分别与所述单片机以及晶圆检测探针台相连，所述FPGA芯片用于获取所述检测信息，并将所述检测信息传输到所述单片机的内存中；所述FPGA芯片还用于接收所述单片机的控制命令，并基于所述控制命令控制所述晶圆检测探针台进行晶圆检测以及传送。