[实用新型]晶圆检测探针台控制系统

权利要求书

1.一种晶圆检测探针台控制系统，其特征在于，包括：单片机和晶圆检测探针台；

所述单片机与所述晶圆检测探针台连接；

所述晶圆检测探针台包括晶圆检测部件以及运动控制部件，所述晶圆检测部件以及运动控制部件分别与所述单片机连接，所述晶圆检测部件用于对目标晶圆进行检测，并将检测信息传输给所述单片机，所述运动控制部件用于接收所述单片机的控制命令将所述目标晶圆传送到指定位置；

所述单片机用于接收所述晶圆检测部件的检测信息，并基于所述检测信息向所述运动控制部件发送控制命令。

2.根据权利要求1所述的晶圆检测探针台控制系统，其特征在于，所述系统还包括FPGA芯片，所述FPGA芯片分别与所述单片机以及晶圆检测探针台相连，所述FPGA芯片用于获取所述检测信息，并将所述检测信息传输到所述单片机的内存中；所述FPGA芯片还用于接收所述单片机的控制命令，并基于所述控制命令控制所述晶圆检测探针台进行晶圆检测以及传送。

3.根据权利要求1所述的晶圆检测探针台控制系统，其特征在于，所述系统还包括工控机，所述工控机与所述单片机连接，所述工控机用于从所述单片机获取所述检测信息，并基于所述检测信息确定所述目标晶圆的测量结果信息，并将所述测量结果信息发送至所述单片机，所述单片机基于所述测量结果信息向所述运动控制部件发送控制命令。

4.根据权利要求1所述的晶圆检测探针台控制系统，其特征在于，所述运动控制部件包括步进电机和第一传感器，所述步进电机与所述第一传感器连接，所述第一传感器用于获取所述步进电机的运动状态信息，其中，所述步进电机的运动状态信息包括所述步进电机的当前位置信息和当前速度信息。

5.根据权利要求4所述的晶圆检测探针台控制系统，其特征在于，所述第一传感器和所述步进电机均与所述单片机连接，所述单片机从所述第一传感器获取所述步进电机的运动状态信息，所述单片机根据所述运动状态信息以及所述检测信息向所述步进电机发出控制命令。

6.根据权利要求4所述的晶圆检测探针台控制系统，其特征在于，所述系统还包括第一转换电路，所述第一传感器通过所述第一转换电路与所述单片机连接，所述第一转换电路获取所述运动状态信息，并将所述运动状态信息进行转换，得到运动状态信号，并将所述运动状态信号传输给所述单片机，所述运动状态信号的数值符合第一预设阈值。

7.根据权利要求4所述的晶圆检测探针台控制系统，其特征在于，所述系统还包括：报警模块，所述单片机与所述报警模块连接，所述单片机获取所述运动状态信息，根据所述运动状态信息判断是否需要报警，并在判断需要报警时向所述报警模块发出控制命令，控制所述报警模块报警。

8.根据权利要求5所述的晶圆检测探针台控制系统，其特征在于，所述第一传感器包括编码器；

所述编码器分别与所述单片机和所述步进电机连接，所述编码器用于获取所述步进电机的当前位置信息，并将所述步进电机的当前位置信息发送给所述单片机；

所述单片机获取所述步进电机的当前位置信息，并根据所述当前位置信息向所述步进电机发出控制命令。

9.根据权利要求1所述的晶圆检测探针台控制系统，其特征在于，所述运动控制部件包括电磁阀和气缸，所述电磁阀连接在所述气缸与所述单片机之间；

所述气缸用于给搬运所述目标晶圆提供动力，所述电磁阀用于根据所述单片机的控制命令控制所述气缸充气或放气。

10.根据权利要求1所述的晶圆检测探针台控制系统，其特征在于，所述晶圆检测部件包括第二传感器，所述第二传感器连接在所述单片机以及所述晶圆检测探针台之间，所述第二传感器用于获取所述目标晶圆的检测信息并传输给所述单片机，所述检测信息包括所述目标晶圆的外形尺寸信息、所述目标晶圆的表面粗糙度信息、所述目标晶圆的透光度信息、所述目标晶圆的表面光洁度信息中的一种或多种信息。