[实用新型]光伏半导体拉晶设备的自动取热场装置

摘要

本实用新型提供了光伏半导体拉晶设备的自动取热场装置，包括拉晶设备本体，还包括设置在拉晶设备本体左侧的热场保温筒抓取机构、设置在拉晶设备本体右侧的三瓣锅石英坩埚抓取机构以及底托盘输送机构，热场保温筒抓取机构和三瓣锅石英坩埚抓取机构上均设置有结构相同的夹持机构；本实用新型在拉晶设备本体上设置有热场保温筒抓取机构、三瓣锅石英坩埚抓取机构、底托盘输送机构和夹持机构，在生产完单晶硅棒后，通过热场保温筒抓取机构和三瓣锅石英坩埚抓取机构上的夹持机构分别将炉体的热场保温筒和三瓣锅石英坩埚取出，通过更换石英坩埚立马进行下一个单晶硅棒的生产，不需要等待炉体完全冷却、不需要人工介入，提高了生产效率的同时节省人力。