[实用新型]光伏半导体拉晶设备的自动取热场装置

权利要求书

1.光伏半导体拉晶设备的自动取热场装置，包括拉晶设备本体(1)，其特征在于：还包括设置在所述拉晶设备本体(1)左侧的热场保温筒抓取机构(2)、设置在拉晶设备本体(1)右侧的三瓣锅石英坩埚抓取机构(3)以及底托盘输送机构(4)，所述热场保温筒抓取机构(2)和三瓣锅石英坩埚抓取机构(3)上均设置有结构相同的夹持机构(5)。

2.根据权利要求1所述的光伏半导体拉晶设备的自动取热场装置，其特征在于：所述热场保温筒抓取机构(2)包括有机箱座(21)、旋转架(22)、上升块(23)和气缸(24)，所述机箱座(21)固定安装在拉晶设备本体(1)上，机箱座(21)上转动设置有旋转架(22)，所述旋转架(22)通过机箱座(21)内部的电机驱动转动，所述旋转架(22)的一侧滑动设置有上升块(23)，所述上升块(23)通过旋转架(22)后侧的气缸(24)驱动，所述上升块(23)上安装有夹持机构(5)。

3.根据权利要求1所述的光伏半导体拉晶设备的自动取热场装置，其特征在于：所述三瓣锅石英坩埚抓取机构(3)包括有第一线性导轨丝杠滑台(31)、支撑架(32)、第二上升块(33)和第二气缸(34)，所述支撑架(32)滑动设置在第一线性导轨丝杠滑台(31)上并通过第一线性导轨丝杠滑台(31)后方的第一伺服电机(35)驱动，所述支撑架(32)上竖直滑动设置有第二上升块(33)，所述第二上升块(33)通过第二气缸(34)驱动，所述第二上升块(33)上也安装有夹持机构(5)。

4.根据权利要求3所述的光伏半导体拉晶设备的自动取热场装置，其特征在于：所述底托盘输送机构(4)包括有第二线性导轨丝杠滑台(41)，第二线性导轨丝杠滑台(41)上滑动设置有底盘座(42)，所述底盘座(42)通过第二线性导轨丝杠滑台(41)上的第二伺服电机(43)驱动，所述底盘座(42)上放置有用于承载三瓣锅石英坩埚的底盘(44)。

5.根据权利要求4所述的光伏半导体拉晶设备的自动取热场装置，其特征在于：所述第二线性导轨丝杠滑台(41)与所述第一线性导轨丝杠滑台(31)呈90°垂直设置。

6.根据权利要求3所述的光伏半导体拉晶设备的自动取热场装置，其特征在于：所述夹持机构(5)包括有支架(51)、第三气缸(52)、支臂(53)和夹持臂(54)，所述支臂(53)对称设置有两组，两组支臂(53)上均设置有夹持臂(54)，两组支臂(53)铰接在支架(51)的支撑杆(55)两端，两组支臂(53)的另一端均与第三气缸(52)的输出端铰接。

7.根据权利要求6所述的光伏半导体拉晶设备的自动取热场装置，其特征在于：所述支臂(53)为组合式支臂，支臂(53)是由多个连杆铰接而成。