[实用新型]光伏半导体拉晶设备的自动取热场装置

说明书

本实用新型提供了光伏半导体拉晶设备的自动取热场装置，包括拉晶设备本体，还包括设置在拉晶设备本体左侧的热场保温筒抓取机构、设置在拉晶设备本体右侧的三瓣锅石英坩埚抓取机构以及底托盘输送机构，热场保温筒抓取机构和三瓣锅石英坩埚抓取机构上均设置有结构相同的夹持机构；本实用新型在拉晶设备本体上设置有热场保温筒抓取机构、三瓣锅石英坩埚抓取机构、底托盘输送机构和夹持机构，在生产完单晶硅棒后，通过热场保温筒抓取机构和三瓣锅石英坩埚抓取机构上的夹持机构分别将炉体的热场保温筒和三瓣锅石英坩埚取出，通过更换石英坩埚立马进行下一个单晶硅棒的生产，不需要等待炉体完全冷却、不需要人工介入，提高了生产效率的同时节省人力。

技术领域

本实用新型涉及单晶硅棒生产设备技术领域，尤其涉及光伏半导体拉晶设备的自动取热场装置。

背景技术

单晶硅是具有基本完整的点阵结构的晶体，不同的方向具有不同的性质，是一种良好的半导材料，单晶硅棒是在工业生产中使用直拉法或悬浮区熔法从熔体中生长出棒状单晶硅，其主要指标有少子寿命，氧含量等等，单晶硅棒是生产单晶硅片的原材料；

单晶硅棒在生产过程中需要经过1800℃高温进行拉制，其炉体的温度自然也会很高，炉体的热场保温筒和三瓣锅石英坩埚很烫，有700-800℃，传统的要等4个小时全部冷却后人工抬出来，生产效率低的同时费时费力，因此本实用新型提出光伏半导体拉晶设备的自动取热场装置以解决现有技术中存在的问题。

实用新型内容

针对上述问题，本实用新型提出光伏半导体拉晶设备的自动取热场装置以解决现有技术中单晶硅棒生产效率低、费时费力的问题。

为实现本实用新型的目的，本实用新型通过以下技术方案实现：光伏半导体拉晶设备的自动取热场装置，包括拉晶设备本体，还包括设置在所述拉晶设备本体左侧的热场保温筒抓取机构、设置在拉晶设备本体右侧的三瓣锅石英坩埚抓取机构以及底托盘输送机构，所述热场保温筒抓取机构和三瓣锅石英坩埚抓取机构上均设置有结构相同的夹持机构。

进一步改进在于：所述热场保温筒抓取机构包括有机箱座、旋转架、上升块和气缸，所述机箱座固定安装在拉晶设备本体上，机箱座上转动设置有旋转架，所述旋转架通过机箱座内部的电机驱动转动，所述旋转架的一侧滑动设置有上升块，所述上升块通过旋转架后侧的气缸驱动，所述上升块上安装有夹持机构。

进一步改进在于：所述三瓣锅石英坩埚抓取机构包括有第一线性导轨丝杠滑台、支撑架、第二上升块和第二气缸，所述支撑架滑动设置在第一线性导轨丝杠滑台上并通过第一线性导轨丝杠滑台后方的第一伺服电机驱动，所述支撑架上竖直滑动设置有第二上升块，所述第二上升块通过第二气缸驱动，所述第二上升块上也安装有夹持机构。

进一步改进在于：所述底托盘输送机构包括有第二线性导轨丝杠滑台，第二线性导轨丝杠滑台上滑动设置有底盘座，所述底盘座通过第二线性导轨丝杠滑台上的第二伺服电机驱动，所述底盘座上放置有用于承载三瓣锅石英坩埚的底盘。

进一步改进在于：所述第二线性导轨丝杠滑台与所述第一线性导轨丝杠滑台呈90°垂直设置。

进一步改进在于：所述夹持机构包括有支架、第三气缸、支臂和夹持臂，所述支臂对称设置有两组，两组支臂上均设置有夹持臂，两组支臂铰接在支架的支撑杆两端，两组支臂的另一端均与第三气缸的输出端铰接。

进一步改进在于：所述支臂为组合式支臂，支臂是由多个连杆铰接而成。

本实用新型的有益效果为：该光伏半导体拉晶设备的自动取热场装置在拉晶设备本体上设置有热场保温筒抓取机构、三瓣锅石英坩埚抓取机构、底托盘输送机构和夹持机构，在生产完单晶硅棒后，通过热场保温筒抓取机构和三瓣锅石英坩埚抓取机构上的夹持机构分别将炉体的热场保温筒和三瓣锅石英坩埚取出，通过更换石英坩埚立马进行下一个单晶硅棒的生产，不需要等待炉体完全冷却、不需要人工介入，提高了生产效率的同时节省人力。

附图说明