[实用新型]一种测试半球谐振子Q值的真空装置有效
| 申请号： | 202122819594.7 | 申请日： | 2021-11-17 |
| 公开（公告）号： | CN216348673U | 公开（公告）日： | 2022-04-19 |
| 发明（设计）人： | 赵明 | 申请（专利权）人： | 西安航晨机电科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01C25/00 | 分类号： | G01C25/00;G01H9/00 |
| 代理公司： | 北京盛凡佳华专利代理事务所(普通合伙) 11947 | 代理人： | 汤镇宇 |
| 地址： | 710000 陕西省西安市国家民用航天*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 一种测试半球谐振子Q值的真空装置，工作台的下部设置有分子泵和机械泵，工作台的上部设置有真空罩，真空罩内部还设置有伺服传动机构；真空罩的腔体通过波纹管连接分子泵的进气口，分子泵的出气口通过波纹管连接机械泵的进气口，机械泵的出气口通过波纹管连接外界大气；每次对真空罩抽真空时，先开机械泵预抽分子泵，然后再开分子泵，实现对真空罩抽真空。本实用新型通过计算真空室负载，优化了真空腔体的体积，可以使真空泵在有效的最短时间内完成真空室的抽排，达到工作所需要的真空条件，提高了工作效率，减小了真空泵的工作时间，同时也延长了整体系统的寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 测试 半球 谐振子 真空 装置 | ||
【主权项】：
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