[实用新型]一种测试半球谐振子Q值的真空装置

说明书

一种测试半球谐振子Q值的真空装置，工作台的下部设置有分子泵和机械泵，工作台的上部设置有真空罩，真空罩内部还设置有伺服传动机构；真空罩的腔体通过波纹管连接分子泵的进气口，分子泵的出气口通过波纹管连接机械泵的进气口，机械泵的出气口通过波纹管连接外界大气；每次对真空罩抽真空时，先开机械泵预抽分子泵，然后再开分子泵，实现对真空罩抽真空。本实用新型通过计算真空室负载，优化了真空腔体的体积，可以使真空泵在有效的最短时间内完成真空室的抽排，达到工作所需要的真空条件，提高了工作效率，减小了真空泵的工作时间，同时也延长了整体系统的寿命。

技术领域

本实用新型属于测试半球谐振子Q值的真空装置技术领域，涉及一种测试半球谐振子Q值的真空装置。

背景技术

半球谐振子陀螺是当今航空航天上应用比较广泛的当代最具发展前景的陀螺，半球谐振子其材料为熔石英玻璃的薄壁超精密球杯状零件，是半球谐振陀螺(HRG)的核心敏感部件，这种半球谐振陀螺工作的前题是谐振子以谐振频率做持续振动使半球谐振子球壳唇沿形成四波幅振型，要求半球谐振子Q值大于1000万。

半球谐振子Q值的公式为Q＝πfτ；式中Q—半球谐振子品质因数；F—半球谐振子谐振频率；τ—谐振衰减时间。

为了获取最大Q值,因此半球谐振子的谐振需在真空环境进行，采用多普勒激光测振仪测试。但是目前国内的测量方法不多，属于技术空白区域，且一般真空传动都采用二级密封圈轴系直接进入真空系统，密封性不好，抽真空时间长。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种测试半球谐振子Q值的真空装置，解决了现有技术中真空传动都采用二级密封圈轴系直接进入真空系统、密封性不好、抽真空时间长的问题

本实用新型的目的是提供一种测试半球谐振子Q值的真空系统装置。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：

一种测试半球谐振子Q值的真空装置，包括有呈框架结构的工作台107，工作台107的下部设置有分子泵105和机械泵106，工作台107的上部设置有真空罩101，真空罩 101内部还设置有伺服传动机构；

其中：

真空罩101的腔体通过波纹管连接分子泵105的进气口，分子泵105的出气口通过波纹管连接机械泵106的进气口，机械泵106的出气口通过波纹管连接外界大气；每次对真空罩101抽真空时，先开机械泵106预抽分子泵105，然后再开分子泵105，实现对真空罩101抽真空。

机械泵106是利用气体膨胀、压缩、排出的原理，把气体从真空罩101里抽出，周期性地改变泵内吸气腔的容积，使真空罩101中的气体不断地通过机械泵的进气口膨胀到吸气腔中，然后通过压缩经排气口排出泵外，达到低压预抽真空的目的。

分子泵105是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子，使之获得定向速度，从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵。

真空罩101的真空环境与外界的传动通过伺服传动机构实现，伺服传动机构包括有高磁密磁传动联轴器301、606CET无油陶瓷轴承302、T5M系列绝对值编码器电机303 和主轴304；其中，主轴304贯穿于工作台107，高磁密磁传动联轴器301镶嵌于工作台 107的内部且主轴304从高磁密磁传动联轴器301中贯穿伸出，高磁密磁传动联轴器301 起到传递扭矩的作用；主轴304的外侧安装有606CET无油陶瓷轴承302；主轴304的下部设置有T5M系列绝对值编码器电机303；主轴304转动依靠T5M系列绝对值编码器电机303传递扭矩。

本实用新型还具有以下附加技术特征：