[实用新型]一种测试半球谐振子Q值的真空装置

权利要求书

1.一种测试半球谐振子Q值的真空装置，其特征在于：

包括有呈框架结构的工作台(107)，工作台(107)的下部设置有分子泵(105)和机械泵(106)，工作台(107)的上部设置有真空罩(101)，真空罩(101)内部还设置有伺服传动机构；

其中：

真空罩(101)的腔体通过波纹管连接分子泵(105)的进气口，分子泵(105)的出气口通过波纹管连接机械泵(106)的进气口，机械泵(106)的出气口通过波纹管连接外界大气；

真空罩(101)的真空环境与外界的传动通过伺服传动机构实现，伺服传动机构包括有高磁密磁传动联轴器(301)、606CET无油陶瓷轴承(302)、T5M系列绝对值编码器电机(303)和主轴(304)；其中，主轴(304)贯穿于工作台(107)，高磁密磁传动联轴器(301)镶嵌于工作台(107)的内部且主轴(304)从高磁密磁传动联轴器(301)中贯穿伸出，高磁密磁传动联轴器(301)起到传递扭矩的作用；主轴(304)的外侧安装有606CET无油陶瓷轴承(302)；主轴(304)的下部设置有T5M系列绝对值编码器电机(303)；主轴(304)转动依靠T5M系列绝对值编码器电机(303)传递扭矩。

2.根据权利要求1所述的一种测试半球谐振子Q值的真空装置，其特征在于：真空罩(101)的外侧设置有电动缸(403)，所述电动缸(403)为自动提升机构，电动缸(403)的底部安装于工作台(107)上，电动缸(403)的升降杆顶端通过铰接方式与真空罩(101)连接。

3.根据权利要求1所述的一种测试半球谐振子Q值的真空装置，其特征在于：所述真空罩(101)的底部安装有外凸的压台(203)，压台(203)的底部设置有一圈密封圈(201)；真空罩(101)底部对应的工作台(107)上安装有四个压钳(202)，四个压钳(202)分布于压台(203)的外周，将压台(203)向下锁紧同时压紧密封圈(201)保持真空罩(101)的密封状态。

4.根据权利要求1所述的一种测试半球谐振子Q值的真空装置，其特征在于：真空罩(101)的顶部设置有激光入射窗(103)，真空罩(101)的侧面设置有真空观察窗(102)。

5.根据权利要求1所述的一种测试半球谐振子Q值的真空装置，其特征在于：T5M系列绝对值编码器电机(303)包括有1:100减速机；1:100减速机的转动轴上安装零位开关及角度传感器。

6.根据权利要求1所述的一种测试半球谐振子Q值的真空装置，其特征在于：主轴(304)的上部安装有工装，工装将零件夹持住。

7.根据权利要求1所述的一种测试半球谐振子Q值的真空装置，其特征在于：工作台(107)的一侧还安装有多普勒激光测振仪云台(104)。