[实用新型]一种承载盘及气相外延设备有效
申请号: | 202122746064.4 | 申请日: | 2021-11-10 |
公开(公告)号: | CN216378480U | 公开(公告)日: | 2022-04-26 |
发明(设计)人: | 康联鸿;尧舜;胡斌;董国亮;刘晨晖;陈章龙;冒凯;戴伟;汤秀娟 | 申请(专利权)人: | 华芯半导体研究院(北京)有限公司;华芯半导体科技有限公司 |
主分类号: | C30B23/00 | 分类号: | C30B23/00;C30B25/12 |
代理公司: | 北京中知法苑知识产权代理有限公司 11226 | 代理人: | 李明;赵吉阳 |
地址: | 101300 北京市顺*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本实用新型提供一种承载盘及气相外延设备,属于气相外延生长技术领域。本实用新型的承载盘,用于悬浮在基座上,以在基座提供的气流下旋转,承载盘朝向基座的表面设置有至少一个气流阻挡结构,气流阻挡结构沿气流的流动方向设置,气流阻挡结构能够阻挡气流以推动承载盘旋转。气流阻挡结构可使承载盘的自转速度增加,承载盘表面被覆盖外延层的速度减小,沉积外延层时间增加,从而延长承载盘使用周期,减少维护成本;使用本实用新型的承载盘不容易沉积外延层,从而减少外延片被边缘外延沉积阻挡造成卡壳取不出来造成裂片的风险,提高产品成品率。 | ||
搜索关键词: | 一种 承载 外延 设备 | ||
【主权项】:
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