[实用新型]一种离子注入机的分析磁场单元有效
| 申请号： | 202122735099.8 | 申请日： | 2021-11-09 |
| 公开（公告）号： | CN216213253U | 公开（公告）日： | 2022-04-05 |
| 发明（设计）人： | 颜伟未;朱红波;黄家明 | 申请（专利权）人： | 广州粤芯半导体技术有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/317 | 分类号： | H01J37/317;H01L21/67;H01L21/265 |
| 代理公司： | 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 | 代理人： | 冯启正 |
| 地址： | 510000 广东省广州*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种离子注入机的分析磁场单元，包括离子输送管和动力机构；所述离子输送管包括入口和出口，所述离子输送管的内部设置有磁场，所述离子输送管的弯曲角度可调节，所述离子输送管的入口和出口至少一个位置可调节；所述动力机构与所述离子输送管连接，所述动力机构用于调节所述离子输送管的弯曲角度。所述分析磁场单元可以筛选出不同种类的离子，在不改变磁场强度的情况下，增加了筛选出的离子的能量范围；由于磁场强度不需要额外增加既可获得高能量的离子，这样降低了电能消耗，达到了节能降耗、绿色生产的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 离子 注入 分析 磁场 单元 | ||
【主权项】：
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