[实用新型]一种离子注入机的分析磁场单元有效
| 申请号： | 202122735099.8 | 申请日： | 2021-11-09 |
| 公开（公告）号： | CN216213253U | 公开（公告）日： | 2022-04-05 |
| 发明（设计）人： | 颜伟未;朱红波;黄家明 | 申请（专利权）人： | 广州粤芯半导体技术有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/317 | 分类号： | H01J37/317;H01L21/67;H01L21/265 |
| 代理公司： | 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 | 代理人： | 冯启正 |
| 地址： | 510000 广东省广州*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 离子 注入 分析 磁场 单元 | ||
1.一种离子注入机的分析磁场单元，其特征在于，包括离子输送管和动力机构；
所述离子输送管包括入口和出口，所述离子输送管的内部设置有磁场，所述离子输送管的弯曲角度可调节，所述离子输送管的入口和出口至少一个位置可调节；
所述动力机构与所述离子输送管连接，所述动力机构用于调节所述离子输送管的弯曲角度。
2.如权利要求1所述的一种离子注入机的分析磁场单元，其特征在于，所述离子输送管的弯曲角度的范围为a，所述a满足0°＜a≤90°。
3.如权利要求1所述的一种离子注入机的分析磁场单元，其特征在于，所述离子输送管包括多个依次连接的关节，相互连接的所述关节之间的弯曲角度可调节。
4.如权利要求3所述的一种离子注入机的分析磁场单元，其特征在于，所述离子输送管包括18个所述关节，每个所述关节的角度为5°。
5.如权利要求1所述的一种离子注入机的分析磁场单元，其特征在于，所述离子输送管的轴线的形状为圆弧形。
6.如权利要求1所述的一种离子注入机的分析磁场单元，其特征在于，所述离子输送管的入口的位置固定，所述离子输送管的出口的位置可调节。
7.如权利要求1所述的一种离子注入机的分析磁场单元，其特征在于，所述离子输送管的入口的位置可调节，所述离子输送管的出口的位置固定。
8.如权利要求1所述的一种离子注入机的分析磁场单元，其特征在于，所述动力机构包括处理器、电机和弹性部件；所述处理器与所述电机连接，所述处理器用于控制所述电机的运转；所述电机与所述弹性部件连接，所述电机用于控制所述弹性部件的长度；所述弹性部件与所述离子输送管的入口或出口连接，所述弹性部件用于调节所述离子输送管道的入口或出口的位置。
9.如权利要求8所述的一种离子注入机的分析磁场单元，其特征在于，所述弹性部件为弹簧。
10.如权利要求9所述的一种离子注入机的分析磁场单元，其特征在于，所述离子输送管的出口的位置可调节；所述弹簧的一端安装在所述离子输送管的出口的端面上，另一端与所述电机连接。
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