[实用新型]一种镀膜机用升降式基片台有效
| 申请号： | 202122716575.1 | 申请日： | 2021-11-08 |
| 公开（公告）号： | CN216274350U | 公开（公告）日： | 2022-04-12 |
| 发明（设计）人： | 应世强;应佳根 | 申请（专利权）人： | 南京丙辰表面技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50 |
| 代理公司： | 南京普睿益思知识产权代理事务所(普通合伙) 32475 | 代理人： | 张丽丽 |
| 地址： | 210000 江苏省南京市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种镀膜机用升降式基片台，属于真空镀膜机技术领域，包括内部中空且顶部开口的台体，所述台体的内部安装有通过升降气缸控制升降的基片放置架，所述台体的顶部开口左右铰接有盖板，所述盖板通过连杆结构与所述基片放置架连接，使所述基片放置架在升起时所述连杆结构推动所述盖板打开开口，所述基片放置架在下降时所述连杆结构拉动所述盖板关闭开口。通过基片放置架来固定待镀膜的基片，而基片放置架可从台体内伸出，方便基片的镀膜，镀膜完毕后基片放置架可再次收回台体内部，其中台体的盖板与基片放置架之间联动，使基片放置架在伸出时盖板打开，收回时盖板关闭，这样可以保护镀膜后的基片不被二次附着镀膜材料。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 镀膜 升降 式基片台 | ||
【主权项】：
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