[实用新型]一种镀膜机用升降式基片台有效
| 申请号： | 202122716575.1 | 申请日： | 2021-11-08 |
| 公开（公告）号： | CN216274350U | 公开（公告）日： | 2022-04-12 |
| 发明（设计）人： | 应世强;应佳根 | 申请（专利权）人： | 南京丙辰表面技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50 |
| 代理公司： | 南京普睿益思知识产权代理事务所(普通合伙) 32475 | 代理人： | 张丽丽 |
| 地址： | 210000 江苏省南京市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 镀膜 升降 式基片台 | ||
1.一种镀膜机用升降式基片台，其特征在于，包括内部中空且顶部开口的台体(1)，所述台体(1)的内部安装有通过升降气缸(6)控制升降的基片放置架(7)，所述台体(1)的顶部开口左右铰接有盖板(2)，所述盖板(2)通过连杆结构(3)与所述基片放置架(7)连接，使所述基片放置架(7)在升起时所述连杆结构(3)推动所述盖板(2)打开开口，所述基片放置架(7)在下降时所述连杆结构(3)拉动所述盖板(2)关闭开口。
2.根据权利要求1所述的一种镀膜机用升降式基片台，其特征在于，所述基片放置架(7)的底部安装升降座(4)，升降座(4)的底部连接推杆(5)，推杆(5)与升降气缸(6)的输出端连接。
3.根据权利要求2所述的一种镀膜机用升降式基片台，其特征在于，所述连杆结构(3)包括连接在升降座(4)上的连接杆(8)，连接杆(8)通过第一旋转轴(9)转动连接在摆动杆(10)的端部，摆动杆(10)的另一端通过第二旋转轴(11)转动连接盖板(2)。
4.根据权利要求1所述的一种镀膜机用升降式基片台，其特征在于，所述基片放置架(7)包括安装在支撑架(12)顶部的固定架(13)，固定架(13)上设置有用于夹持待镀膜基片的基片夹板(14)。
5.根据权利要求4所述的一种镀膜机用升降式基片台，其特征在于，所述固定架(13)的两侧竖直设置导向杆(18)，基片夹板(14)沿着导向杆(18)滑动，且基片夹板(14)通过磁铁片(17)磁性连接固定架(13)的两侧。
6.根据权利要求4所述的一种镀膜机用升降式基片台，其特征在于，所述固定架(13)的两端分别与支撑架(12)之间转动连接，使被夹持的基片可上下翻转，固定架(13)的其中一端安装有从动齿轮(15)，从动齿轮(15)与翻转电机驱动的主动齿轮(16)啮合。
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