[实用新型]一种直拉单晶硅用加热器有效

专利信息
申请号: 202122712469.6 申请日: 2021-11-08
公开(公告)号: CN216237368U 公开(公告)日: 2022-04-08
发明(设计)人: 惠宝锋;马元良;高俊伟;韩永龙;高玉顺;宋生宏 申请(专利权)人: 青海民族大学
主分类号: C30B15/14 分类号: C30B15/14;C30B29/06;H05B3/02;H05B3/40
代理公司: 济南鼎信专利商标代理事务所(普通合伙) 37245 代理人: 梁国海
地址: 810007 青*** 国省代码: 青海;63
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摘要: 实用新型提供了一种直拉单晶硅用加热器,包括:外壳体、电加热棒、限位槽;所述外壳体内的下部设置有电加热棒,且外壳体与电加热棒通过嵌入方式相连接;所述限位槽位于外壳体的内壁上,且限位槽与外壳体为一体式结构;所述第一卡槽位于外壳体的内壁上,且第一卡槽与外壳体为一体式结构;所述石英坩埚设置在外壳体的内部,且石英坩埚与外壳体通过间隙配合方式套接;所述限位块位于石英坩埚的外壁上,且限位块与石英坩埚为一体式结构。通过在结构上的改进,具有加热工作效率高,并且受热效果好以及使用稳定性强,大大提高其实用性能及实用价值等优点,从而有效的解决了现有装置中出现的问题和不足。
搜索关键词: 一种 单晶硅 加热器
【主权项】:
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