[实用新型]一种直拉单晶硅用加热器有效
| 申请号: | 202122712469.6 | 申请日: | 2021-11-08 |
| 公开(公告)号: | CN216237368U | 公开(公告)日: | 2022-04-08 |
| 发明(设计)人: | 惠宝锋;马元良;高俊伟;韩永龙;高玉顺;宋生宏 | 申请(专利权)人: | 青海民族大学 |
| 主分类号: | C30B15/14 | 分类号: | C30B15/14;C30B29/06;H05B3/02;H05B3/40 |
| 代理公司: | 济南鼎信专利商标代理事务所(普通合伙) 37245 | 代理人: | 梁国海 |
| 地址: | 810007 青*** | 国省代码: | 青海;63 |
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| 摘要: | 本实用新型提供了一种直拉单晶硅用加热器,包括:外壳体、电加热棒、限位槽;所述外壳体内的下部设置有电加热棒,且外壳体与电加热棒通过嵌入方式相连接;所述限位槽位于外壳体的内壁上,且限位槽与外壳体为一体式结构;所述第一卡槽位于外壳体的内壁上,且第一卡槽与外壳体为一体式结构;所述石英坩埚设置在外壳体的内部,且石英坩埚与外壳体通过间隙配合方式套接;所述限位块位于石英坩埚的外壁上,且限位块与石英坩埚为一体式结构。通过在结构上的改进,具有加热工作效率高,并且受热效果好以及使用稳定性强,大大提高其实用性能及实用价值等优点,从而有效的解决了现有装置中出现的问题和不足。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 单晶硅 加热器 | ||
【主权项】:
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