[实用新型]一种直拉单晶硅用加热器

权利要求书

1.一种直拉单晶硅用加热器，包括：外壳体(1)、电加热棒(2)、限位槽(3)、第一卡槽(4)、石英坩埚(5)、限位块(6)、第二卡槽(7)、裙边(8)、吊环(9)；其特征在于：所述外壳体(1)内的下部设置有电加热棒(2)，且外壳体(1)与电加热棒(2)通过嵌入方式相连接；所述限位槽(3)位于外壳体(1)的内壁上，且限位槽(3)与外壳体(1)为一体式结构；所述第一卡槽(4)位于外壳体(1)的内壁上，且第一卡槽(4)与外壳体(1)为一体式结构；所述石英坩埚(5)设置在外壳体(1)的内部，且石英坩埚(5)与外壳体(1)通过间隙配合方式套接；所述限位块(6)位于石英坩埚(6)的外壁上，且限位块(6)与石英坩埚(5)为一体式结构；所述第二卡槽(7)位于石英坩埚(5)的外壁上，且第二卡槽(7)与石英坩埚(5)为一体式结构；所述裙边(8)位于石英坩埚(5)的上部，且裙边(8)与石英坩埚(5)为一体式结构；所述吊环(9)设置在裙边(8)的上部，且吊环(9)与裙边(8)通过螺纹拧接。

2.根据权利要求1所述的一种直拉单晶硅用加热器，其特征在于：所述外壳体(1)为圆桶状，且外壳体(1)内的下部位置呈环形分布方式共设置有八处电加热棒(2)。

3.根据权利要求1所述的一种直拉单晶硅用加热器，其特征在于：所述限位槽(3)为U形状的凹槽，且限位槽(3)呈十字分布方式在外壳体(1)的内壁上共设置有四处。

4.根据权利要求1所述的一种直拉单晶硅用加热器，其特征在于：所述第一卡槽(4)与第二卡槽(7)均为弧形槽，且第一卡槽(4)与第二卡槽(7)之间通过石英坩埚(5)与外壳体(1)套接组成圆形孔。

5.根据权利要求1所述的一种直拉单晶硅用加热器，其特征在于：所述限位块(6)为矩形块状结构，且限位块(6)通过间隙配合方式与限位槽(3)之间卡接。

6.根据权利要求1或4所述的一种直拉单晶硅用加热器，其特征在于：所述第一卡槽(4)呈环形阵列分布方式在外壳体(1)的内壁上共设置有八处，且第一卡槽(4)与电加热棒(2)之间通过间隙配合方式卡接。