[实用新型]一种直拉单晶硅用加热器

说明书

本实用新型提供了一种直拉单晶硅用加热器，包括：外壳体、电加热棒、限位槽；所述外壳体内的下部设置有电加热棒，且外壳体与电加热棒通过嵌入方式相连接；所述限位槽位于外壳体的内壁上，且限位槽与外壳体为一体式结构；所述第一卡槽位于外壳体的内壁上，且第一卡槽与外壳体为一体式结构；所述石英坩埚设置在外壳体的内部，且石英坩埚与外壳体通过间隙配合方式套接；所述限位块位于石英坩埚的外壁上，且限位块与石英坩埚为一体式结构。通过在结构上的改进，具有加热工作效率高，并且受热效果好以及使用稳定性强，大大提高其实用性能及实用价值等优点，从而有效的解决了现有装置中出现的问题和不足。

技术领域

本实用新型涉及单晶硅技术领域，更具体的说，尤其涉及一种直拉单晶硅用加热器。

背景技术

目前单晶硅的制备方法分为区熔单晶硅和直拉单晶硅。直拉法是运用熔体的冷凝结晶驱动原理，在固液的界面处借由熔体温度下降，将产生由液体转换成固态的相变化。

但是目前直拉单晶硅用的加热器还存着一定不足之处，例如多数仅仅依靠石墨材料进行加热，由于石墨加热较慢，严重影响工作效率，以及坩埚与加热器之间间隙较大造成受热慢，同时坩埚在加热器内也容易随意转动，导致使用不便，从而大大降低其实用价值等问题。

有鉴于此，针对现有的问题予以研究改良，提供一种直拉单晶硅用加热器，旨在通过该技术，达到解决问题与提高实用价值性的目的。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种直拉单晶硅用加热器，以解决上述背景技术中提出的问题和不足。

为实现上述目的，本实用新型提供了一种直拉单晶硅用加热器，由以下具体技术手段所达成：

一种直拉单晶硅用加热器，包括：外壳体、电加热棒、限位槽、第一卡槽、石英坩埚、限位块、第二卡槽、裙边、吊环；所述外壳体内的下部设置有电加热棒，且外壳体与电加热棒通过嵌入方式相连接；所述限位槽位于外壳体的内壁上，且限位槽与外壳体为一体式结构；所述第一卡槽位于外壳体的内壁上，且第一卡槽与外壳体为一体式结构；所述石英坩埚设置在外壳体的内部，且石英坩埚与外壳体通过间隙配合方式套接；所述限位块位于石英坩埚的外壁上，且限位块与石英坩埚为一体式结构；所述第二卡槽位于石英坩埚的外壁上，且第二卡槽与石英坩埚为一体式结构；所述裙边位于石英坩埚的上部，且裙边与石英坩埚为一体式结构；所述吊环设置在裙边的上部，且吊环与裙边通过螺纹拧接。

作为本技术方案的进一步优化，本实用新型一种直拉单晶硅用加热器所述外壳体为圆桶状，且外壳体内的下部位置呈环形分布方式共设置有八处电加热棒。

作为本技术方案的进一步优化，本实用新型一种直拉单晶硅用加热器所述限位槽为U形状的凹槽，且限位槽呈十字分布方式在外壳体的内壁上共设置有四处。

作为本技术方案的进一步优化，本实用新型一种直拉单晶硅用加热器所述第一卡槽与第二卡槽均为弧形槽，且第一卡槽与第二卡槽之间通过石英坩埚与外壳体套接组成圆形孔。

作为本技术方案的进一步优化，本实用新型一种直拉单晶硅用加热器所述限位块为矩形块状结构，且限位块通过间隙配合方式与限位槽之间卡接。

作为本技术方案的进一步优化，本实用新型一种直拉单晶硅用加热器所述第一卡槽呈环形阵列分布方式在外壳体的内壁上共设置有八处，且第一卡槽与电加热棒之间通过间隙配合方式卡接。

由于上述技术方案的运用，本实用新型与现有技术相比具有下列优点：

1、本实用新型一种直拉单晶硅用加热器，通过设置电加热棒，从而可以在原有石墨加热的基础上进行电加热棒加热，从而大大提高加热速度，提高工作效率，继而大大提高该装置的实用价值。

2、本实用新型一种直拉单晶硅用加热器，通过将电加热棒卡在第一卡槽与第二卡槽组成的孔内，从而可以使电加热棒与石英坩埚之间紧密贴合，提高受热效率，继而大大提高其实用性能。