[实用新型]一种外延炉的过滤装置及其应用的外延设备有效
| 申请号： | 202122705306.5 | 申请日： | 2021-11-03 |
| 公开（公告）号： | CN216170848U | 公开（公告）日： | 2022-04-05 |
| 发明（设计）人： | 吴从俊;马宁;纵兆武;潘尧波 | 申请（专利权）人： | 中电化合物半导体有限公司 |
| 主分类号： | B01D46/24 | 分类号： | B01D46/24 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 苗晓娟 |
| 地址： | 315336 浙江省宁波市杭*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型提供一种外延炉的过滤装置及其应用的外延设备，所述过滤装置至少包括：进气端；出气端；尾气处理单元，所述进气端和所述出气端通过尾气处理单元连接；收纳盒，所述收纳盒与所述尾气处理单元连接；以及，过滤网，设置在所述尾气处理单元和所述出气端之间。本实用新型所提供的外延炉过滤装置，可以改善外延炉尾端极易堵塞、工艺制程泵易损坏的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 外延 过滤 装置 及其 应用 设备 | ||
【主权项】：
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